ICS 13. 100 CCS C 65 AQ 中华人民共和国安全生产行业标准 AQ 3065—2025 多晶硅安全生产规范 Safety specification for polycrystalline silicon production 2025-12-13 发布 2026-11-01实施 中华人民共和国应急管理部 发布 AQ 3065—2025 目 次 前言 1 范围 2 规范性引用文件 3 术语和定义 基本要求 4.1设计通用要求 4.2管理要求 4.3证实方法 5生产安全 5.1 合成 5. 2 冷氢化和精馏提纯 5.3 三氯氢硅还原和尾气干法回收 5.4 二氯二 硅反歧化 5.5 硅烷制备 5.6 硅烷还原 5.7 硅烷热分解 5.8 粗品后处理 5.9 氯硅烷和硅烷 尾气处理 5.10 证实方 6储存安全 6. 1 氯硅烷储存 6. 2 硅烷储存 6.3回收硅粉储存 6.4 证实方法 7应急处置 AQ3065—2025 前言 本文件的全部技术内容为强制性。 本文件按照GB/T1.1一2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定 起草。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。 本文件由中华人民共和国应急管理部提出，危险化学品安全监督管理一司业务管理、政策法规司统 筹管理。 本文件由全国安全生产标准化技术委员会化学品安全分技术委员会（SAC/TC288/SC3）技术归 口及咨询。 本文件起草单位：中国氟硅有机材料工业协会、四川永祥股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有 限公司、华陆工程科技有限责任公司、中国化学品安全协会、北京国化新材料技术研究院有限公司、中石 化安全工程研究院有限公司、陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司、新疆大全新能源股份有限公司。 本文件主要起草人：李斌、杨武明、韩洪流刘继》辛一男、王路、孙志岩、白洪强、吴德智、罗周、 王世棋、郑东昊、程长进、兰云、李超、张遵、陈江龙。 本文件为首次发布， AQ 3065—2025 多晶硅安全生产规范 1范围 本文件规定了多晶硅安全生产的基本要求、生产安全、储存安全及应急处置的要求。 本文件适用于采用三氯氢硅还原法工艺、硅烷法工艺生产多晶硅企业的安全运行。 2规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单)适用于 本文件。 GB4962氢气使用安全技术规程 GB 11984 化工企业氯气安全技术规范 GB12158 防止静电事故通用要求 GB15577 粉尘防爆安全规程 GB 17681 危险化学品重大危险源安全监控技术规范 GB 18218 危险化学品重大危险源辨识 GB/T 29639 生产经营单位生产安全事故应急预案编制导则 GB30077 危险化学品单位应急救援物资配备要求 GB 30871 危险化学品企业特殊作业安全规范 1388888888838388 GB36894 危险化学品生产装置和储存设施风险基准 GB 37241 可燃性粉尘情化安全规范 GB/T37243 危险化学品生产装置和储存设施外部安全防护距离确定方法 GB38144 眼面部防护应急喷淋和洗眼设备 GB/T44394 化学品粉尘爆炸危害识别和防护指南 GB50052 供配电系统设计规范 GB50160 石油化工企业设计防火标准 GB/T50493石油化工可燃气体和有毒气体检测报警设计标准 GB/T50779石油化工建筑物抗爆设计标准 SH3009石油化工可燃性气体排放系统设计规范 3术语和定义 下列术语和定义适用于本文件。 3. 1 二氯二氢硅反歧化dichlorodihydrosilanereproportionationreaction 二氯二氢硅和四氯化硅在一定条件下重整生成三氯氢硅的反应。 3. 2 回收硅粉 recycledsiliconpowder 冷氢化工序和合成工序产生的含有一定催化剂的二次硅粉，以及还原工序等副产的细硅粉。 1 AQ3065—2025 3. 3 氯硅烷chlorosilane 硅烷中的氢原子部分或全部被氯原子取代后的物质统称。 注：氯硅烷通常包括四氯化硅、三氯氢硅（别名三氯硅烷、硅仿、硅氯仿）、二氯二氢硅（别名二氯硅烷）、一氯三氢硅。 4基本要求 4.1设计通用要求 4.1.1下列存在硅粉爆炸风险的区域或设备应采取符合GB15577、GB/T44394规定的情化、抗爆、泄 爆、隔爆、消除静电等预防措施，并按照GB37241选择情化方法： a）硅粉研磨作业区域； b）冷氢化和合成工序中的硅粉罐、硅粉过滤器、集尘罐、回收硅粉罐等设备； c）其他可能存在硅粉爆炸风险的区域。 4.1.2合成、冷氢化、渣浆处理工序输送硅粉的管道应采用内衬耐磨材料、管道加厚、大半径弯头等耐 磨蚀措施。 4.1.3氢气排气筒、放空管的高度设置应符合GB50160的规定，排气筒、放空管应选用金属或金属衬 里材质，并设置阻火器或液封。氢气管道的选材敷设及氢气使用应符合GB4962的规定。 4.1.4存在超压风险的工艺系统、设备，应按照GB50160设置泄压设施。涉及硅粉或腐蚀性物料的 工艺系统、设备，应在安全阀前设置爆破片或在安全阀出人口管道上采取吹扫等防堵措施。 4.1.5涉及硅烷的事故泄放气，应排放至硅烷事故排气系统；事故排气系统尾气排放口高度和辐射半 径应符合SH3009的规定。 4.1.6液态氯硅烷、硅烷的输送应采用无轴封泵 4. 1.7 涉及硅烷的管道阀门应采用隔膜阀或波纹管密封阀。 4.1.8采用水与氯硅烷物料换热的热交换器，应在热交换器水介质侧出口管道上设置电导仪等用于检 测氯硅烷泄漏的仪表。 4.1.9氯硅烷和硅烷罐组设置应符合CB50160的规定，其中硅烷储罐与其他设施的防火间距应按照 半冷冻式液化烃储罐的间距要求确定。 4.1.10涉及氢气、硅烷、二氯二氢硅等气体的场所，应具备通风条件。 4.1.11回收硅粉的排出应在密闭或惰性条件下进行，浆渣应在密闭条件下分离或水解。 4.1.12应采用压力储罐储存氯硅烷，罐区内应至少设置1台容积不小于单个最大氯硅烷储罐容积的 事故储罐。 4.1.13应采用万向管道充装系统装卸氯硅烷，万向管道充装系统应采用具备锁定、防脱落和脱落自封 闭功能的充装接头。 4.1.14氯硅烷、硅烷储罐应设置温度、压力、液位连续监测仪表，并具备温度、压力高报警和液位高、低 报警功能。 4.1.15采用氮气保护且可能出现欠氧的封闭式场所应设置氧气浓度探测器。 4.1.16构成重大危险源的新建、改建、扩建生产装置和储存设施应设置符合GB17681规定的重大危 险源安全监控系统。 4. 1. 17 下列设备、系统的供电负荷应符合GB50052规定的一级供电负荷中的特别重要负荷要求： 三氯氢硅还原炉电极冷却水泵； 用于硅烷的冷却系统的维持机组； c) 尾气洗涤、冷凝、淋洗等处理系统； 事故氯回收系统。 2 AQ3065—2025 4.1.18设备、管道静电接地设计应符合GB12158的规定。 4.1.19企业新建控制室、交接班室不应布置在生产装置区内，确需布置的应按照GB/T50779进行抗 爆设计、建设和加固。 4.2管理要求 施，建设并应用人员定位系统，加强关键装置、重点部位的作业安全风险管控。 4.2.2构成危险化学品重大危险源的企业应明确并落实重大危险源安全包保责任，并依托双重预防机 制数字化平台落实安全包保责任人的责任， 4.2.3企业应建立防磨蚀管理制度，确定检测部位、检测频次和检测方式，定期对涉及硅粉的管道、设 备磨损情况进行检查、检测。 4.2.4企业应建立防腐蚀、防泄漏管理制度，加强对涉及氢气、氯气、氯硅烷、硅烷的设备、仪表、管道的 泄漏管理；应对使用内部换热管的合成炉定期检测，防止泄漏。 4.2.5企业开展动火，受限空间等特殊作业时，应符合GB30871的规定。 4.2.6涉及氯化氢、氯硅烷、硅烷介质的管道、设备投用前应采用高纯氮气置换，氧含量应不大于50X 10-（体积分数）、露点应不高于-40℃。 4.2.7企业应全面辨识装置、设备设施的异常工况情形，开展安全风险评估，建立异常工况下的应急授 权机制，明确处置措施和处置程序。应急处置过程中应管控现场人员数量，同一部位不应进行交叉作 业，同一装置区内现场人员应不超过6人，无关人员不应进人作业区域。 4.2.8企业应定期开展HAZOP（危险与可操作性分析），落实安全风险管控措施。 4.3证实方法 通过查验建设项目安全设施设计资料、P&ID图纸，安全管理制度、设备设施台账以及查看生产现 场实际情况等方式证实4.1～4.2的规定。 5生产安全 5.1合成 5.1.1 氯化氢合成 5. 1. 1. 1 氯化氢合成炉点火前应对炉内气体进行置换，氢气含量应不大于0.5%（体积分数）。 5.1.1.2进人氯化氢合成炉的氢气与氯气体积流量比值应不小于1.10，保持氢气过量。 5.1.1.3氯气的使用管理应符合GB11984的规定，主要包括： a）氯气设备、管道使用专用阀门，并使用耐氯、耐压、耐温性能的密封垫片，使用与氯气不发生反 应的润滑剂； b） 氯气设备、管道的安全阀前设置爆破片，安全阀和爆破片之间设置压力监测设施，安全阀放空 线引至事故氯应急吸收系统； C 氯气场所设置氯气探测器，氯气探测器量程为0～10×10-（体积分数），一级报警值不大于 1X10-（体积分数），二级报警值不大于3X10-（体积分数），其他设置符合G