(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202122668447.4 (22)申请日 2021.11.02 (73)专利权人 上海安平静电科技有限公司 地址 201109 上海市闵行区瓶 安路1358号1 幢309室 (72)发明人 孙卫星　杨庆瑞　罗先军　杨荣斌　 叶斌斌　 (74)专利代理 机构 上海三和万国知识产权代理 事务所(普通 合伙) 3123 0 专利代理师 蔡海淳 (51)Int.Cl. G01R 29/24(2006.01) G01R 1/04(2006.01) G01D 21/02(2006.01) (54)实用新型名称 一种微型静电传感器 (57)摘要 一种微型静电传感器， 属静电检测领域。 设 置一L型壳体， 构成类似于字母 “L”的结构； 在L型 壳体上设置有静电检测窗口； 在L型壳体静电检 测窗口所在的检测面上设置有距离检测窗口和 温湿度检测窗口； 距离检测窗口及温湿度检测窗 口与L型壳体上的静电检测窗口位于同一侧面； 在控制板单元上与距离检测窗口位置相对应的 位置设置距离传感器或距离传感器 芯片； 在控制 板单元上与温湿度检测窗口位置相对应的位置 设置温湿度传感器或温湿度传感器 芯片。 其取消 了产品本体上调节工作参数的编码开关， 外形尺 寸大幅缩小， 可方便地安装在狭小空间或设备内 部； 可实时获取所在工作环境及检测距离参数， 便于建立 温湿度及距离的补偿 机制， 使检测性能 发挥到最大。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 216485268 U 2022.05.10 CN 216485268 U 1.一种微型静电传感器， 包括壳体、 位于 壳体中的振动电极检测单元及控制板单元， 其 特征是： 设置一个具有伸出头部的L型壳体， 所述的L型壳体具有一个本体， 同时在本体的一端， 还设置有一个伸出部位， 构成侧面类似于 字母“L”的结构； 在L型壳体的本体上， 设置有静电检测窗口； 在L型壳体静电检测窗口所在的检测面上， 设置有第一检测窗口和第二检测窗口； 所述的第一检测窗口为距离检测窗口， 所述的第二检测窗口为温湿度检测窗口； 所述的距离检测窗口和温湿度检测窗口， 与L型壳体的静电检测窗口位于同一侧面； 在振动电极检测单元上与静电检测窗口位置相对应的位置， 设置一个静电荷感应电 极； 在控制板单元上与距离检测窗口位置相对应的位置， 设置一个距离传感器或距离传感 器芯片； 在控制板单元上与温湿度检测窗口位置相对应的位置， 设置一个温湿度传感器或温湿 度传感器芯片。 2.按照权利要求1所述的微型静电传感器， 其特征是所述距离检测窗口和温湿度检测 窗口设置在L型壳体的伸出部位； 所述的距离检测窗口和温湿度检测窗口均位于伸出部位 的同一水平面上。 3.按照权利要求1所述的微型静电传感器， 其特征是在所述L型壳体的伸出部位， 还设 置有指示灯显示窗口。 4.按照权利要求3所述的微型静电传感器， 其特征是所述的指示灯显示 窗口位于L型壳 体伸出部位的顶部， 指示灯显示窗口与控制板单 元上指示灯或导 光柱的位置对应设置 。 5.按照权利要求1所述的微型静电传感器， 其特征是所述的距离检测窗口为一个长方 形窗口； 距离检测窗口的位置与控制板单元上距离传感器或距离传感器芯片的位置对应设 置； 距离检测窗口 的尺寸与距离传感器或距离传感器芯片的尺寸相匹配。 6.按照权利要求1所述的微型静电传感器， 其特征是所述的温湿度检测窗口为一单排 或多排的贯穿孔， 温湿度检测窗口的位置与控制板单元上温湿度传感器或温湿度传感器芯 片的位置对应设置 。 7.按照权利要求1所述的微型静电传感器， 其特征是在控制板单元的尾部设置有一 RJ45端口， 在L型壳体上与R J45端口相对应的位置， 设置有通信接口窗口。 8.按照权利要求1所述的微型静电传感器， 其特征是所述的振动电极检测单元位于L型 壳体与控制板单 元之间， 振动电极检测单 元与控制板单 元之间电连接 。 9.按照权利要求1所述的微型静电传感器， 其特征是以所述控制板单元为基准面， 所述 的振动电极检测单 元与温湿度传感器和距离传感器面向同一方位或同一方向。 10.按照权利要求1所述的微型静电传感器， 其特征是所述L型壳体的背后， 设置有一个 与L型壳体有装配关系的安装盖 板； 在安装盖板的安装平面上， 设置有一安装螺柱， 以用于安装、 固定所述的微型静电传感 器。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216485268 U 2一种微型静电传感器 技术领域 [0001]本实用新型属于静电检测领域， 尤其涉及一种微型静电传感器。 背景技术 [0002]随着科学技术的飞速发展， 电子、 通信、 航天航空等高新技术产业的迅速崛起， 尤 其是电子仪器仪表和设备等电子产品日趋小型化、 多功能及智能化。 高密度集成电路已成 为电子工业中不可缺少的器件。 这种器件具有线间距短、 线细、 集成度高、 运算速度快、 低功 率和输入阻抗高的特点， 因而导致这类器件对静电越来越敏感。 静电放电是导致元器件击 穿危害和对电子设备 的运行产生干扰的主要原因。 在电子产品的生产中， 从元器件的预处 理、 安装、 焊接、 清洗、 至单板测试、 总测、 直到包装、 储存、 发送 等工序， 都可能产生对器件的 静电放电击穿 危害。 因此， 静电防护显得越来越重要。 [0003]静电传感器是集成电路生产制造过程中不可缺少的重要的静电防护检测仪器,它 为掌控集成电路生产、 储运和技术保障过程中静电起电情况， 判断该过程中静电放电的危 险性， 确定静电控制 /危险场所， 检验静电防护措施的效能以及分析静电事故， 都起着至关 重要的作用。 [0004]由于集成电路的日趋小型化及生产的自动化， 其对静电传感器的安装使用要求越 来越高； 如， 须将静电传感器嵌入在机械手内， 随机械手臂进行动态静电检测； 这就要求静 电传感器的结构尺寸 也要做到小型化， 与现场生产设备/ 工艺相匹配， 满足安装使用需求。 [0005]然而， 现有静电传感器产品外形尺寸均难以满足小型化安装的需求， 制约着生产 效率的提高。 [0006]现有静电传感器产品多为类似于专利号为CN201730682582.0中所公开的圆柱形 (见图1所示)或专利号为CN202030825911.4中所公开的长方体结构(见图2所示)， 此类 静电 传感器产品在其本体上设置有多个调节工作参数的编 码开关， 故导致了其产品的外形尺寸 较大。 [0007]同时， 静电压检测与检测环境温湿度及检测距离有着较强的相关性， 而现有产品 亦未设置温湿度检测 和距离检测装置， 只具 备固定距离下的单一静电检测功能。 [0008]现有技术方案存在 如下技术缺陷： [0009]1)产品外形尺寸较大， 无法安装在狭小空间或/和设备内部； 即使完成安装， 也会 影响生产操作， 无法实际应用； [0010]2)由于产品未设置温湿度检测和距离检测装置， 导致产品功能单一， 亦无法建立 起温湿度及距离的补偿机制， 检测性能因此受到限制； [0011]3)因无法取得与静电紧密相关的温湿度和距离参数， 会使对静电防护的认知受到 局限， 进而导致管理措施不全面， 无法有效防止静电危害。 [0012]因此， 急需一 款微型静电传感器以匹配生产需求， 监控静电危害。说　明　书 1/4 页 3 CN 216485268 U 3