ICS_13.100 YS 60 H 中华人民共和国有色金属行业标准 YS/T1182—2016 锗单晶安全生产规范 Safe-production specification for germanium single crystal 2016-07-11发布 2017-01-01实施 中华人民共和国工业和信息化部 发布 中华人民共和国有色金属 行业标准 锗单晶安全生产规范 YS/T1182—2016 * 中国标准出版社出版发行 北京市朝阳区和平里西街甲2号（100029) 北京市西城区三里河北街16号（100045) 网址www.spc.net.cn 总编室：（010)68533533 3发行中心：（010)51780238 读者服务部：（010)68523946 中国标准出版社秦皇岛印刷厂印刷 各地新华书店经销 * 开本880×1230 1/16 印张0.75 字数18千字 2018年12月第一版 2018年12月第一次印刷 * 书号：155066·2-33752 定价19.00元 如有印装差错 由本社发行中心调换 版权专有侵权必究 举报电话：(010)68510107 YS/T1182—2016 前言 本标准按照GB/T1.1一2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243)提出并归口。 本标准起草单位：云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、云南东昌金属加工有限公司、中锗科技有限公 司、中国有色金属工业标准计量质量研究所。 本标准主要起草人：普世坤、包文东、惠峰、朱知国、李正美、柯尊斌、董汝昆、杨素心。 I YS/T1182—2016 锗单晶安全生产规范 1范围 本标准规定了锗单晶安全生产的基本安全要求、工艺作业安全、设备设施安全作业要求、检修维护、 危险源辨识、风险评价、风险控制、应急管理、职业健康和事故处理管理等。 本标准适用于以区熔诸锭为原料生产诸单晶及晶片的安全生产管理。 2规范性引用文件 2 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文 件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB2893 安全色 GB2894 安全标志及其使用导则 GB3095 环境空气质量标准 GB/T11651个体防护装备选用规范 GB12348 工业企业厂界环境噪声排放标准 GB/T12801 生产过程安全卫生要求总则 GB/T13861 生产过程危险和有害因素分类与代码 GB15630 消防安全标志设置要求 GB/T16180 劳动能力鉴定职工工伤与职业病致残等级 GB18218 危险化学品重大危险源辨识 GB/T28001 职业健康安全管理体系 要求 GB50019 采暖通风与空气调节设计规范 GB50034 建筑照明设计标准 GB50140 建筑灭火器配置设计规范 GBZ1工业企业设计卫生标准 GBZ2（所有部分）工作场所有害因素职业接触限值 AQ/T9002 生产经营单位安全生产事故应急预案编制导则 3 基本安全要求 3.1 从业人员 3.1.1 从业人员应进行职业适应性选择和职业健康体捡，满足工作要求。 3.1.2 应按照《安全生产培训管理办法》的规定，对从业人员分级进行安全卫生专项教育和培训，培训 考核合格后上岗工作，教育和培训应包括但不仅限于以下内容： 熟知本岗位生产过程中存在和可能产生的危险和有害因素及危险源，必要时能果断采取防范 措施； 掌握岗位所需的消防知识和消防器材使用方法； 一能正确使用岗位劳动防护用品、用具； 1 YS/T1182—2016 一掌握事故应急处理和紧急救护方法； 一了解岗位工作可能产生的职业病损害及预防方法。 上岗作业。 3.1.4企业的主要负责人及安全生产管理人员，应具备与本单位所从事的生产经营活动相适应的安全 生产知识和管理能力，并按法律法规要求取得相应资质后方可任职。 3.1.5操作者上岗前应经过系统的操作维护和安全技能培训，熟悉各设备、设施结构，掌握其性能、使 用和维护方法及安全操作规程，并经过相关部门考核通过，获得安全操作资格证书。 3.2管理制度 3.2.1应结合自身实际，以文件化形式建立并保持可量化的安全生产目标。 3.2.2贯彻执行国家的法律、法规，建立、健全安全生产责任制及安全生产管理网络，明确各级、各类人 员安全生产职责，制定定期安全生产教育和培训考核奖惩办法。 3.2.3应设置安全生产管理机构或者配备专职或兼职安全生产管理人员，对企业的各项安全活动以制 度的形式加以规范，具体内容应符合国家相关法律法规的规定。 3.2.4应建立识别和获取安全生产法律、法规、标准规范的渠道和方式，保证其适用和有效，并将相关 要求及时转化为本单位规章制度，同时传达给相关方。 3.2.5应根据生产工艺、技术及设备设施特点和材料、产品的要求，及时编制安全作业操作规程，制定 各类设备设施使用、报废、拆除的管理规定。 3.2.6应建立安全生产体系文件发放领用登记制度，将各类规章制度及时发放到相关工作岗位，规范 从业人员的作业行为。 3.2.7应建立安全生产有关规章制度、操作规程等执行情况的定期检查评估机制，每年至少一次，并根 据评估结果及时对文件、制度进行评价与修订，始终保证与现场安全生产状况相符。 3.3作业环境 3.3.1企业应为操作者提供良好的作业环境。作业区域环境应符合GBZ1的规定；工厂区大气环镜应 符合GB3095的规定；生产作业过程安全卫生要求应符合GB/T12801的规定。 温度、湿度应符合国家相关法律法规的要求； 一工作场所通风良好，应符合GB50019的规定； 一工作场所光线应充足，照度值应符合GB50034的规定； 作业场所的噪声应符合GB12348的规定，各种消声设施应运行良好； 一工作场所职业接触的粉尘、有毒有害气体等，其限值应符合GBZ2的相关规定； 一工作场所消防设施应保持完好，且符合GB50140及GB15630的规定； 使用化学品时应遵循《工作场所安全使用化学品规定》。 3.3.3生产作业操作现场应有严格的管理措施，与生产无关人员非经允许不得进入生产操作现场。 3.3.4作业场所应设有专用安全通道。 3.3.5工作场所的器物应摆放平稳有序，地面整洁畅通，脚踏设施牢固完好。坑、井、池等应设置盖板 或护拦，人行通道两边不得有突出或锐边物品。 3.4安全标识 3.4.1作业现场应正确配置、规范使用安全标识。安全标识、安全色应分别符合GB2894和GB2893 的规定。 2 YS/T1182—2016 3.4.2危险场所应设置危险标识或警告标识。 3.4.3 变、配电场所应设立防触电安全标识。 3.4.4 危险化学品贮存场所应设立醒目的防火、防爆、防毒标识及应急措施标识。 3.4.5 跨越道路的管线应设置限高及介质名称、流向标识。 3.4.6 设备检修、清理现场应设有明显的警示标识。 3.4.7 施工、吊装等作业现场应设置警戒区域、警示标识。 3.4.8 3.5其他要求 3.5.1禁止使用国家明令淘汰、危及生产安全的工艺、设备。 3.5.2对重大危险源应登记建档，应进行定期检测、评估、监控，并制定应急预案，告知从业人员和相关 人员在紧急情况下应采取的应急措施。 3.5.3应根据职业要求及岗位性质配备必要的劳动保护、防护用品、用具。劳动保护、防护用品、用具 的配置和管理应符合GB/T11651的现定。工作人员工作前应正确穿戴好工作服和有关劳保用品。 3.5.4工艺生产所用的化学品等的运输、贮存、使用和管理应符合国家相关规定。 3.5.5作业场所所在单位应对进入作业现场相关方人员进行进入现场前的安全教育培训，对可能接触 到的危害及应急知识进行教育和告知，并做好现场引导与防护。 4工艺作业安全 4.1总则 企业应建立健全锗单晶生产及加工过程的安全技术操作规程 4.2腐料 4.2.1不应用手直接接触腐料，接触经腐蚀的区熔锗锭时，应戴一次性手套。 4.2.2双氧水和氢氧化钠具有较强的腐蚀性，如果沾上皮肤应用大量清水冲洗。 4.2.3装料时高度不应超过石英埚的三分之二，层间应有一定的间隙，防止溶液沸腾时把石英器皿 撑坏。 4.3开机 开炉前，按工艺要求检察水、电、气是否符合要求，确认无误后方能开炉。 4.4 热场装置 4.4.1石墨碳毡不能超出上密封圈，应平整的铺在炉底上。 4.4.2对不锈钢垫片和螺母上的螺钉紧固时不宜拧得过紧以免螺钉断裂。 4.4.3碳毡不能与加热器接触，防止加热时造成短路，损坏石墨部件 4.5装料、抽空、加热熔料 4.5.1放人掺杂剂锑或镓，并用万能表检查加热器，确保对地不短路。 门打开，运行30min后观察真空度应在3Pa以下，若达不到此要求说明真空泵有问题应排除后才能 运行。 3 YS/T1182—2016 4.6等径 在等径过程时操作者禁止离开工作岗位，以免发生事故。 4.7降温、停机 降温完成后关闭加热、欧陆控制、晶转、转及总控制等电源开关。氩气在保持1h后将出气阀门 关闭，再将流量计关闭，冷却水温度降至90℃后才能关闭进水阀门。 4.8出炉 支好取晶架，戴好手套，以免被烫伤或划伤。 4.9产品包装 4.9.1盛装产品的塑料袋、包装箱应密封结实，并在包装上标识易碎、禁止倒置等标志。 4.9.2产品采用机械自动化包装时，按设备、设施相应的安全操作规范进行。 4.9.3产品应码放整齐有序，防止超高坠落，周围严禁站立、通行。 5设备、设施的安全作业要求 5.1一般规定 5.1.1安全设备设施的建设应与主体工程同时设计、同时施工、同时投入生产和使用，具体应符合国家 有关法律法规和标准规范。