ICS 77.150.99
H 68
T/ZZB 1718 —2020
半导体封装用键合金丝
Gold bonding wire for semiconductor package
2020 - 09 - 30发布 2020 - 10 - 30实施
浙江省品牌建设联合会 发布 团体标准
T/ZZB 1718 —2020
I 目 次
前言 ................................................................................ II
1 范围 .............................................................................. 1
2 规范性引用文件 .................................................................... 1
3 基本要求 .......................................................................... 1
4 产品分类和标记 .................................................................... 1
5 技术要求 .......................................................................... 2
6 试验方法 .......................................................................... 6
7 检验规则 .......................................................................... 6
8 标志、包装、运输和贮存 ............................................................ 6
9 质量证明书 ........................................................................ 8
10 质量承诺 ......................................................................... 8
T/ZZB 1718 —2020
II 前 言
本标准依据 GB/T 1.1 给出的规则起草。
本标准的某些内容可能涉及专利,本标准的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由浙江省品牌建设联合会提出并归口管理。
本标准由温州标准化科学研究院牵头组织制定。
本标准主要起草单位:浙江佳博科技股份有限公司。
本标准参与起草单位(排名 不分先后):温州标准化科学研究院、浙江和 睿半导体科技有限公司。
本标准主要起草人:薛子夜、祖洁、孔祥威、刘桂、郑玺、赵义东、谢海涛、陈雪平、郑怡博、郑
鲁环。
本标准评审专家组长:叶忠民。
本标准由温州标准化科学研究院负责解释。
T/ZZB 1718 —2020
1 半导体封装用键合金丝
1 范围
本标准规定了半导体封装用键合金丝(以下简称金丝)的基本要求、产品分类和标记、技术要求、
试验方法、检测规则、标志、包装、运输和贮存、质量证明书、质量承诺。
本标准适用于半导体分立器件、集成电路、LED 封装用键合金丝。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注日期的引用文件, 仅注日期的版本适用于本文件。
凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 8750 半导体封装用键合金丝
GB/T 10573 有色金属丝拉伸试验方法 GB/T 11066.5 金化学分析方法 银、铜、铁、铅、锑和铋量的测定 原子发射光谱法
GB/T 15077 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
3 基本要求
3.1 设计研发
3.1.1 设计输入应包含化学成分、力学性能和尺寸偏差等关键指标要求;应对设计输出进行验证。
3.1.2 应具备产品稳定性和可靠性的优化设计能力。
3.2 原材料
3.2.1 应采用纯度≥Au99.99
%的原料金。
3.2.2 可采用生产过程中一次返回料,比例应≤ 50 %。
3.3 工艺和装备
3.3.1 应具备真空连铸炉、十万级电子天平、高精度微米拉丝机、动态退火炉、精密绕线机等设备。
3.3.2 应具备恒温恒湿 、千级无尘 净化车间(其中绕线工序应具备百级净化)。
3.4 检验检测
3.4.1 应配置元素光谱分析仪、材料拉力试验机、金相显微镜等检测设备。
3.4.2 应具备开展化学成分、力学性能、尺寸偏差、重量、外观质量、放线流畅度等项目的检测能力。
4 产品分类和标记
4.1 产品分类
T/ZZB 1718 —2020
2 金丝按化学成分分为掺杂金丝和合金金丝两大类。掺杂金丝根据金丝所能达到的最低弧高分为 GS、
GW、TS三个系列,可根据掺杂元素及其含量不同分为 GW1,GW2……TS1,TS2……等;合金金丝根据合
金成分分为 AG2、AG3两个型号。金丝的种类、型号、状态、用途、直径应符合表 1的规定。
表1
种类 型号 状态 用途 直径(mm)
掺杂金
丝 GS
半硬态 一般适用于弧高在 250 μm以上
范围的高弧键合
0.013,0.014,0.015,0.016,0.017,0.018,0.
019,0.020,0.021,0.022,0.023,0.024,0.025,0.026,0.027,0.028,0.029,0.030,0.032,0.033,0.035,0.038,0.040,0.043,0.044,0.
045,0.050,0.060,0.070 GW 一般适用于弧高在 200-300 μm
范围的中高弧键合
TS 一般适用于弧高在 100-200 μm
范围的中低弧键合
合金金
丝 AG2 一般适用于弧高在 70-100 μm
范围的低弧键合 AG3
注:弧高测试方法参见GB/T 8750附录 A。
4.2 产品标记示例
4.2.1 每轴掺杂金丝标记:
GW□,φ□×□m
长度,单位为 m
直径,单位为 mm
掺杂金丝型号
示例:直径为 0.025 mm 长度1 000 m、GW2型号金丝可标记为 GW2,φ0.025×1 000 m
4.2.2 每轴合金金丝标记:
AG ,φ□×□m
长度,单位为 m
直径,单位为 mm
2代表含金量不小于 99 %,3代表含金量不小于 99.9 %
合金金丝
示例:直径为 0.025 mm长度1 000 m、AG2型号合金金丝可标记为 AG2,φ0.025 ×1 000 m
4.2.3 直径为微米或英制单位标记时要注明单位,毫米可不标记单位。
5 技术要求
5.1 化学成分
金丝化学成分符合表 2的规定。掺杂金丝的金含量可由差减法得到,金含量为 100 %减去表中所列
T/ZZB 1718 —2020
3 六种杂质总和;合金金丝的金含量直接测出。
表2
型号 Au
(%) 杂质(Ag、Cu 、Fe、Pb、Sb、Bi)总和
(%)
GS
≥99.99 ≤0.01 GW
TS
AG2 ≥99.00 ≤1.00
AG3 ≥99.90 ≤0.10
5.2 直径及允许偏差
金丝的直径及其允许偏差、重量允许范围应符合表 3的规定。金丝重量的计算按式(1 )进行。
………………………………( 1)
式中:
ω ——1 m金丝重量,单位为克每米(g/m);
π ——圆周率,取值 3.141 59;
D ——金丝试样的公称直径,单位为毫米(mm);
ρ ——试样的密度,取值 19.32,单位为克每立方厘米(g/cm3);
L ——试样的长度,单位为米(m )。
5.3 力学性能
金丝最小拉断力和伸长率应符合表 4的规定。
5.4 表面质量
5.4.1 金丝表面应清洁,无指印、附着物等沾污 ,指印和附着物典型缺陷图示参考 GB/T 8750 附件B。
5.4.2 金丝表面应无超过金丝直径允许偏差的典型缺陷图示参考 GB/T 8750 附录B。
5.5 工艺性能
5.5.1 金丝从轴上自由放下时应无明显卷曲,允许金丝有不降低其使用功能的轻微卷曲。
5.5.2 金丝应无轴向扭曲。
5.6 绕丝要求
5.6.1 金丝应绕在规定线轴上,单层或多层绕线,线轴应符合 GB/T 8750 附录C的规定。
5.6.2 单轴长度偏差范围为±1 %。
5.6.3 绕丝的始端和末端应明显标出,丝的两端用不同颜色胶粘贴紧,绿色为使用始端,红色为末端。
5.7 放丝性能
金丝应顺畅地从线轴上自由放下,若有停点,平均每百米不超过 1次。 ρL4πDω2
× =
T/ZZB
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