书
书
书犐犆犛
29
.
045
犎
82
/G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A
犌犅
/
犜
12964
—
2018
/G21 /G22
GB
/
T12964
—
2003
/G21 /G22 /G23 /G24 /G25 /G26
犕狅狀狅犮狉狔狊狋犪犾犾犻狀犲狊犻犾犻犮狅狀狆狅犾犻狊犺犲犱狑犪犳犲狉狊
2018
09
17
/G27 /G28
2019
06
01
/G29 /G2A
/G27 /G28 /G2B /G2C /G2D /G2E /G2F /G30 /G31 /G32
/G21 /G27 /G27 /G28 /G29 /G2A /G33 /G2F /G30 /G34 /G35 /G36
/G27 /G28
书
书
书/G21
/G22
/G21 /G22 /G23 /G24 /G25
GB
/
T1.1
—
2009
/G26 /G27 /G28 /G29 /G2A /G2B /G2C
。
/G21 /G22 /G23 /G2D /G2E
GB
/
T12964
—
2003
《
/G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34
》,
/G35
GB
/
T12964
—
2003
/G36 /G37
,
/G38 /G39 /G3A /G3B /G3C /G3D /G3E /G3F
/G40 /G41 /G42 /G43 /G44 /G45 /G46
:
———
/G3C /G47 /G48 /G49 /G4A /G4B /G4C
,
/G4D
“
/G21 /G22 /G23 /G49 /G4A /G4E /G4F /G50 /G2F /G30 /G31 /G51 /G52 /G34 /G53 /G54 /G55 /G56 /G57 /G58 /G59 /G30 /G5A /G32 /G33 /G5B /G5C /G28 /G2F /G32 /G33
/G34
”
/G3D /G5D
“
/G21 /G22 /G23 /G49 /G4A /G4E /G4F /G50 /G5E
、
/G5F /G60 /G61 /G62 /G5E
(
/G63 /G64 /G65 /G66 /G67 /G43 /G68 /G69 /G6A /G6B /G36 /G68 /G69
)
/G5B /G5C /G28 /G4F /G6C /G6D /G6E
/G4E
200mm
/G28 /G2F /G30 /G31 /G32 /G33 /G34
。
/G6F /G70 /G3F /G40 /G4A /G4E /G5B /G71 /G72 /G73 /G74 /G75
、
/G76 /G77 /G78 /G79
、
/G7A /G7B /G7C /G79 /G7D
,
/G7E /G71 /G5D /G2F
/G3E /G7F /G34 /G28 /G80 /G81
”(
/G82 /G83
1
/G84
,
2003
/G85 /G86 /G28 /G83
1
/G84
)。
———
/G3C /G47 /G48 /G29 /G4B /G3B /G87 /G4A /G88 /G79
,
/G89 /G38 /G48
GB
/
T1552
、
GB
/
T1554
、
GB
/
T1555
、
GB
/
T1558
、
GB
/
T13387
、
GB
/
T13388
、
GB
/
T14140
、
GB
/
T14143
,
/G8A /G8B /G48
GB
/
T12965
、
GB
/
T19921
、
GB
/
T24578
、
GB
/
T29507
、
GB
/
T32279
、
GB
/
T32280
、
YS
/
T28
、
YS
/
T679
(
/G82 /G83
2
/G84
,
2003
/G85 /G86 /G28 /G83
2
/G84
)。
———
/G89 /G38 /G48 /G8C /G22 /G23 /G65 /G28 /G8D /G8E /G42 /G8F /G90 /G91
,
/G3D /G5D
“
GB
/
T14264
/G92 /G93 /G28 /G42 /G8F /G94 /G93 /G95 /G49 /G4A /G4E /G21 /G88 /G79
”(
/G82
/G83
3
/G84
,
2003
/G85 /G86 /G28 /G83
3
/G84
)。
———
/G3C /G47 /G48 /G2F /G32 /G33 /G34 /G28 /G76 /G96
。
/G89 /G38 /G48
“
/G24 /G2F /G30 /G31 /G97 /G98 /G99 /G5E /G76 /G5D /G4F /G50
(
CZ
)
/G6A /G5F /G60 /G61 /G62
(
FZ
)”,
/G8A /G8B /G48
“
/G24 /G9A /G5A /G9B /G9C /G76 /G5D /G9D /G4A /G28
{
100
}、{
110
}、{
111
}
/G9E /G9F
”(
/G82
4.2.2
,
2003
/G85 /G86 /G28
4.1
)。
———
/G8A /G8B /G48
“
/G2F /G32 /G33 /G34 /G28 /G4F /G6C
、
/G9A /G5A /G9B /G9C /G94 /GA0 /GA1 /GA2 /GA3
、
/GA4 /GA5 /G5A /G98 /GA3
(
/G3F /GA4 /GA5 /G5A /G4F /G6C
)、
/GA6 /GA7 /GA8 /GA9
、
/GA4 /GA5
/G5A /GAA /GAB /G6A /GA6 /GA7 /GAA /GAB /GAC /GAD /GAE
GB
/
T12965
/G28 /G29 /G93
。
/G45 /GAF /GB0 /G40
,
/GB1 /GB2 /G99 /GB3 /GB2 /GB4 /GB5 /GB6 /GB7 /GB8 /GB9
”
(
/G82
5.1
)。
———
/G89 /G38 /G48 /G9A
1
/G65 /G3F
、
/GBA /GA4 /GA5 /G5A /G98 /GA3
、
/GA6 /GA7
、
/G3F /GA4 /GA5 /G5A /G4F /G6C /G28 /G40 /GBB
,
/G3C /G47 /G48 /G4F /G6C /GBC /GBD /GA1 /GBE
、
/GBF /GA3
、
/GC0 /GBF
/GA3 /G43 /G44
、
/GC1 /GC2 /GA3
、
/GC0 /GC3 /GC4 /GA3 /G28 /G40 /GBB
,
/G8A /G8B /G48 /GC5 /GC2 /GA3 /G28 /G40 /GBB
,
/G8A /G8B /G48 /G4F /G6C /G6D /GC6 /G4E
125mm
/G2F /G32 /G33 /G34
/G28 /GC7 /GC8 /GC3 /GC4 /GA3 /G28 /G40 /GBB
(
/G82 /G9A
1
,
2003
/G85 /G86 /G28 /G9A
1
)。
———
/G4D /G31 /G8E /GC9 /GC4 /G3B /G28 /G40 /GBB /GCA /GCB
5.1
,
/GB1 /GB2 /G99 /GB3 /GB2 /GB6 /GB7 /GB8 /GB9
(
/G82
5.1
,
2003
/G85 /G86 /G28
5.3
)。
———
/G3C /G47 /G48 /GCC /G44 /GCD /G97 /GCE /GCF /G28 /G40 /GBB
,
/G3D /G5D
“
/G2F /G32 /G33 /G34 /G28 /GCC /G44 /GCD /G97 /GCE /GCF /GAC /G6D /G6E /G4E
100
/GD0
/
cm
2
,
/G7E /GB1 /GB2 /GB0
/GD1 /G99 /GD2 /GD3 /GD4 /G93
”(
/G82
5.4
,
2003
/G85 /G86 /G28
5.3.2
)。
———
/G89 /G38 /G48 /G8C /G22 /G23 /G28 /G9A /G5A /G9B /G9C
、
/GD5 /G23 /G22 /GD6 /G28 /G90 /G91
(
/G82
2003
/G85 /G86 /G28
5.4
、
5.5
)。
———
/G8A /G8B /G48
150mm
、
200mm
/G4F /G6C /G2F /G32 /G33 /G34 /G28 /G9A /G5A /GD7 /GD8 /G6A /G8E /GD7 /GD8
(
/GD9
)
/GDA /GDB /G28 /G40 /GBB
(
/G82
5.5
、
5.6
)。
———
/G3C /G47 /G48 /GDC /GDD /GDE /GDF /G28 /G40 /GBB
,
/GB1
“
/G2F /G32 /G33 /G34 /GE0 /G53 /GDC /GDD /GE1 /GE2
,
/GE1 /GE2 /GE3 /G28 /GDC /GDD /GDE /GDF /GAC /GAD /GAE
YS
/
T26
/G28 /G29
/G93
,
/GE4 /GE5 /G40 /GBB /GE6
GB-T 12964-2018 硅单晶抛光片
文档预览
中文文档
10 页
50 下载
1000 浏览
0 评论
309 收藏
3.0分
温馨提示:本文档共10页,可预览 3 页,如浏览全部内容或当前文档出现乱码,可开通会员下载原始文档
本文档由 人生无常 于 2025-02-20 13:17:18上传分享