ICS13.040.35 CCSC70 中华人民共和国国家标准 GB/T36306—2024 代替GB/T36306—2018 洁净室及相关受控环境 空气化学污染控制技术要求 Cleanroomandassociatedcontrolledenvironments— Technicalrequirementsofairchemicalcontaminationcontrol 2024-03-15发布 2024-10-01实施 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会发布 目 次 前言 Ⅲ ………………………………………………………………………………………………………… 引言 Ⅳ ………………………………………………………………………………………………………… 1 范围 1 ……………………………………………………………………………………………………… 2 规范性引用文件 1 ………………………………………………………………………………………… 3 术语和定义 1 ……………………………………………………………………………………………… 4 污染源 1 …………………………………………………………………………………………………… 5 空气化学污染控制 2 ……………………………………………………………………………………… 6 检测与监测 3 ……………………………………………………………………………………………… 附录A(资料性) 洁净室建设材料选用 5 ………………………………………………………………… 附录B(资料性) 电子工业洁净室空气化学污染控制系统 7 …………………………………………… 附录C(资料性) 微电子工业洁净室空气化学污染物控制数据表 9 …………………………………… 附录D(资料性) 洁净室施工阶段化学物浓度控制措施 11 ……………………………………………… 参考文献 13 …………………………………………………………………………………………………… ⅠGB/T36306—2024