(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202220947519.0 (22)申请日 2022.04.22 (73)专利权人 上海先进半导体制造有限公司 地址 200233 上海市徐汇区虹漕 路385号 (72)发明人 竺征　雷亚洲　 (74)专利代理 机构 上海光华专利事务所(普通 合伙) 31219 专利代理师 余明伟 (51)Int.Cl. B62B 3/00(2006.01) B62B 5/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种运输晶圆的推车装置 (57)摘要 本实用新型提供一种运输晶圆的推车装置， 包括推车车体及至少一承 载层板， 其中推车本体 包括支撑框、 车轮组件与多根支撑柱， 车轮组件 位于支撑框下方， 支撑柱垂直设于支撑框上方并 与支撑框连接， 承载层板位于多根支撑柱围成的 内部空间并与支撑柱连接， 承 载层板具有用于承 载晶圆盒的承 载表面， 承 载表面相对于水平面倾 斜设置。 本实用新型的运输晶圆的推车装置的承 载层板设置倾斜的承载表面， 当晶圆盒放置于倾 斜的承载表面后使得晶圆朝同一方向倾斜， 防止 其左右晃动， 保持晶圆运输平稳性， 有效降低晶 圆在运输过程中损坏的几率。 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 CN 217347837 U 2022.09.02 CN 217347837 U 1.一种运输晶圆的推车装置， 其特 征在于， 包括： 推车车体， 包括支撑框、 车轮组件与多根支撑柱， 所述车轮组件位于所述支撑框下方， 所述支撑柱 垂直设于所述支撑 框上方并与所述支撑 框连接； 至少一承载层板， 位于多根所述支撑柱围成的内部空间并与所述支撑柱连接， 所述承 载层板具有用于承载晶圆盒的承载表面， 所述承载表面相对于水平面 倾斜设置。 2.根据权利要求1所述的运输晶圆的推车装置， 其特征在于： 所述推车装置还包括隔 栏， 所述隔栏位于所述承载层板上表面以在所述承载层板上分隔出多个晶圆盒承载格， 所 述晶圆盒承载格的底面显露所述承载表面。 3.根据权利要求2所述的运输晶圆的推车装置， 其特征在于： 多个所述晶圆盒承载格排 列成两列， 两列所述晶圆盒承载格的底面的倾 斜方向相反。 4.根据权利要求1所述的运输晶圆的推车装置， 其特征在于： 所述推车装置还包括护 栏， 所述护栏 位于相邻所述支撑柱之间， 所述护栏高于所述承载层板预设距离 。 5.根据权利要求1所述的运输晶圆的推车装置， 其特征在于： 所述承载表面相对于水平 面的倾斜角为10 °～15°。 6.根据权利要求1所述的运输晶圆的推车装置， 其特征在于： 所述支撑框与 所述支撑柱 之间设有 避震装置。 7.根据权利要求6所述的运输晶圆的推车装置， 其特征在于： 所述避震装置周围安装有 防撞保护装置 。 8.根据权利要求1所述的运输晶圆的推车装置， 其特征在于： 所述推车装置还包括把 手， 所述把手连接 于所述推车 车体。 9.根据权利要求1所述的运输晶圆的推车装置， 其特征在于： 所述车轮组件包括导电刹 车轮。 10.根据权利要求1所述的运输晶圆的推车装置， 其特征在于： 所述推车车体底部安装 有导电链。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217347837 U 2一种运输晶圆的推车 装置 技术领域 [0001]本实用新型属于半导体生产制造领域， 涉及一种运输晶圆的推车装置 。 背景技术 [0002]在半导体集成电路的制造过程中， 晶圆减薄工艺是常用的技术， 它不但可以显著 提高芯片的散热效率， 而且还可以提高芯片的电气性能， 与此同时， 晶圆的超薄化对运输过 程的要求也更加的苛刻。 现有的运输晶圆的推车多采用九宫格的设计方式， 晶圆盒(晶舟 盒)平放在格子中， 一个晶圆盒内设有多个分割槽， 每个分割槽存放一片晶圆， 晶圆竖直放 置在分割槽中， 由于 分割槽间隙较大， 从而导致晶圆在运输过程中来回的晃动， 遇到剧烈的 晃动， 极易引发碎片和缺角的风险， 这样不仅会提高芯片的制造成本， 还会造成人力和物力 的浪费。 [0003]因此， 如何提供一种运输 晶圆的推车装置， 用于减小在运输 的过程中晶圆发生晃 动造成损坏的几率， 成为本领域 技术人员亟需解决的问题。 实用新型内容 [0004]鉴于以上所述现有技术的缺点， 本实用新型的目的在于提供一种运输晶圆的推车 装置， 用于解决现有技 术中在运输晶圆时晶圆易发生晃动造成损坏等问题。 [0005]为实现上述目的及其他相关目的， 本实用新型提供一种运输 晶圆的推车装置， 包 括： [0006]推车车体， 包括支撑框、 车轮组件与多根支撑柱， 所述车轮 组件位于所述支撑框下 方， 所述支撑柱 垂直设于所述支撑 框上方并与所述支撑 框连接； [0007]至少一承载层板， 位于多根所述支撑柱围成的内部空间并与所述支撑柱连接， 所 述承载层板具有用于承载晶圆盒的承载表面， 所述承载表面相对于水平面 倾斜设置。 [0008]可选地， 所述推车装置还包括隔栏， 所述隔栏位于所述承载层板上表面以在所述 承载层板上分隔出多个晶圆盒承载格， 所述晶圆盒承载格的底面显露所述承载表面。 [0009]可选地， 多个所述晶圆盒承载格排列成两列， 两列所述晶圆盒承载格 的底面的倾 斜方向相反。 [0010]可选地， 所述推车装置还包括护栏， 所述护栏位于相邻所述支撑杆之间， 所述护栏 高于所述承载层板预设距离 。 [0011]可选地， 所述承载表面相对于水平面的倾 斜角为10 °～15°。 [0012]可选地， 所述支撑 框与所述支撑柱之间设有 避震装置。 [0013]可选地， 所述避 震装置周围安装有防撞保护装置 。 [0014]可选地， 所述推车装置还 包括把手， 所述 把手连接 于所述推车 车体。 [0015]可选地， 所述车轮组件 包括导电刹车轮。 [0016]可选地， 所述推车 车体底部安装有导电链。 [0017]如上所述， 本实用新型的运输晶圆的推车装置的承载层板具有用于承载晶圆盒的说　明　书 1/4 页 3 CN 217347837 U 3