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(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202220479006.1 (22)申请日 2022.03.06 (73)专利权人 陕西铟杰半导体有限公司 地址 727031 陕西省铜川市新区新材 料产 业园区纬九路小微企业园7号楼 (72)发明人 黄小华 陈龙 陈瑜  (51)Int.Cl. B62B 3/00(2006.01) B62B 5/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种用于生产多晶磷化铟酸碱环境的运输 装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种用 于生产多晶磷化 铟酸碱环境的运输装置, 包括底座, 所述底座两 侧外壁的一侧均设置有防震万向轮, 且底座两侧 外壁的另一侧均设置有防震定向轮, 所述底座顶 部外壁设置有叠加的石英管固定机构, 所述石英 管固定机构 包括运输箱体, 且运输箱 体顶部外壁 均开设有等距离分布的石英管限位孔, 所述运输 箱体一侧外壁的两侧设置有推动扶手, 所述运输 箱体和底 座顶部外壁四角处均开设有限位孔, 所 述底座一侧外壁开设有安装槽, 且安装槽的内壁 滑动连接有接水盘。 本实用新型通过石英管摆放 姿势的调整、 使用聚四氟乙烯材料、 制作成多层 次、 可移动式一种用于生产多晶磷化铟酸碱环境 的运输装置 。 权利要求书1页 说明书3页 附图1页 CN 217294551 U 2022.08.26 CN 217294551 U 1.一种用于生产多晶磷化铟酸碱环境的运输装置, 包括底座(3), 其特征在于, 所述底 座(3)两侧外壁的一侧均设置有防震万 向轮(7), 且底座(3)两侧 外壁的另一侧均设置有防 震定向轮(11), 所述底座(3)顶部外壁设置有叠加的石英管固定机构(4), 所述石英管固定 机构(4)包括运输箱体(2), 且运输箱体(2)顶部外壁均开设有等距离分布的石英管限位孔 (1), 所述运输箱 体(2)一侧外壁的两侧设置有推动扶手(8), 所述运输箱体(2)和底座(3)顶 部外壁四角处均开设有限位孔(9), 所述运输箱体(2)底部外壁四角处均固定连接有和限位 孔(9)相匹配的限位柱, 所述底座(3)一侧外壁开设有安装槽(10), 且安装槽(10)的内壁滑 动连接有接水盘(5)。 2.根据权利要求1所述的一种用于生产多晶磷化铟酸碱环境的运输装置, 其特征在于, 所述底座(3)顶部外壁均开设有等距离 分布的沥水透气五星 型孔(6), 所述沥水透气五星 型 孔(6)和安装槽(10)相连通。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 217294551 U 2一种用于生产多晶磷化铟酸碱环境的运输 装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及磷化铟合成技术领域, 尤其涉及 一种用于生产多晶磷化铟酸碱环 境的运输装置 。 背景技术 [0002]磷化铟合成准备工序 中, 石英管酸洗脱水后只能横放在架在上自然风干, 面临着 水渍残留、 操作时间长、 石英管易损伤、 人员操作难度大、 不方便集中转运、 影响磷化铟成品 电学参数等问题。 实用新型内容 [0003]本实用新型提出的一种用于生产多晶磷化铟酸碱环境的运输装置 。 [0004]为了实现上述目的, 本实用新型采用了如下技 术方案: [0005]一种用于生产多晶磷化铟酸碱环境的运输装置, 包括底座, 所述底座两侧外壁的 一侧均设置有防震万向轮, 且底座两侧外壁的另一侧均设置有防震定 向轮, 所述底座顶部 外壁设置有叠加的石英管固定机构, 所述石英管固定机构包括运输箱体, 且运输箱体顶部 外壁均开设有等距离分布的石英管限位孔, 所述运输箱体一侧外壁的两侧设置有推动扶 手, 所述运输箱体和底座顶部外壁四角处均开设有限位孔, 所述运输箱体底部外壁四角处 均固定连接有和限位孔相匹配的限位柱, 所述底座一侧外壁开设有安装槽, 且安装槽的内 壁滑动连接有接水盘。 [0006]优选的, 所述底座顶部外壁均开设有等距离分布的沥水透气五星型孔, 所述沥水 透气五星型孔和安装槽相连通。 [0007]本实用新型的有益效果 为: [0008]1.本实用新型通过石英管摆放姿势的调整、 使用聚四氟乙烯材料、 制作成多层次、 可移动式一种用于生产多晶磷化铟酸碱环境的运输装置。 与现有技术相比本实用新型设计 方案, 可以达到无水渍残留、 操作时间短、 耐腐蚀、 可集中转运使用、 有效的优化磷化铟成品 电学参数。 附图说明 [0009]图1为本实用新型提出的一种用于生产多晶磷化铟酸碱环境的运输装置的结构示 意图; [0010]图2为本实用新型提出的一种用于生产多晶磷化铟酸碱环境的运输装置的底座结 构示意图。 [0011]图中: 1、 石英管限位孔; 2、 运输箱体; 3、 底座; 4、 石英管固定机构; 5、 接水盘; 6、 沥 水透气五星型孔; 7、 防震万向轮; 8、 推动扶手、 9、 限位 孔; 10、 安装槽、 1 1、 防震定向轮。说 明 书 1/3 页 3 CN 217294551 U 3

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