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(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211154253.5 (22)申请日 2022.09.22 (71)申请人 苏州恒嘉晶体材 料有限公司 地址 215699 江苏省苏州市张家港经济技 术开发区(杨舍镇)晨丰公路143 6号 (72)发明人 徐永亮 秦孝龙 周波 王晓娟 (74)专利代理 机构 北京弘权知识产权代理有限 公司 11363 专利代理师 逯长明 温瑞鑫 (51)Int.Cl. B24B 9/06(2006.01) B24B 41/06(2012.01) B24B 41/04(2006.01) (54)发明名称 一种圆片倒角磨削机构及使用方法 (57)摘要 本申请涉及圆片加工设备领域, 具体而言, 涉及一种圆片倒角磨削机构及 使用方法, 一定程 度上可以解决倒角时圆片的幅宽不均而导致后 续成品崩边率高的问题。 所述圆片倒角磨削机构 包括磨削皿、 转动件和压块, 所述磨削皿正置后, 由下至上呈扩口圆筒状, 圆片放置在所述磨削皿 中且与所述磨削皿转动连接; 所述转动件用于驱 动所述磨削皿沿所述磨削皿的中轴线转动; 所述 压块位于所述圆片的上方且所述压块的底壁与 所述圆片的顶 壁贴合, 所述压块用于使所述圆片 与所述磨削皿产生 转动速度差 。 权利要求书1页 说明书5页 附图4页 CN 115229602 A 2022.10.25 CN 115229602 A 1.一种圆片倒角磨削机构, 其特 征在于, 包括: 磨削皿, 所述磨削皿正置后, 由下至上呈扩口圆筒状; 圆片放置在所述磨削皿中且与所 述磨削皿 转动连接; 转动件, 用于驱动所述磨削皿沿所述磨削皿的中轴线转动; 压块, 位于所述圆片的上方且所述压块的底壁与所述圆片的顶壁贴合, 所述压块用于 使所述圆片与所述磨削皿产生 转动速度差 。 2.如权利要求1所述的一种圆片倒角磨削机构, 其特征在于, 还包括位置调节件, 所述 位置调节件 包括: 压杆, 与所述压块 转动连接, 且所述压杆向靠 近或者远离所述压块的方向移动; 驱动件, 用于驱动所述压杆向靠 近或者远离所述压块的方向移动。 3.如权利要求2所述的一种圆片倒角磨削机构, 其特征在于, 所述位置调节件还包括旋 转件, 所述旋转件用于驱动所述压杆 带动所述压块 转动; 其中, 所述压杆的转轴方向与所述压块所在的平面平行。 4.如权利要求3所述的一种圆片倒角磨削机构, 其特征在于, 所述压杆的转动角度为2 度‑6度。 5.如权利要求1所述的一种圆片倒角磨削机构, 其特征在于, 所述磨削皿采用电镀 式器 皿或者烧结式器皿。 6.如权利要求5所述的一种圆片倒角磨削机构, 其特征在于, 所述磨削皿采用金刚石材 料制成, 且所述圆片倒角面的粗 糙度随着金刚石磨削皿目数的增大而增大。 7.如权利要求1所述的一种圆片倒角磨削机构, 其特征在于, 所述磨削皿的底部设有连 接座, 所述连接座与所述磨削皿固定连接 。 8.如权利要求1所述的一种圆片倒角磨削机构, 其特征在于, 所述磨削皿的外壁固定连 接有加固壁。 9.一种圆片倒角磨削机构的使用方法, 应用于权利要求1 ‑8任一所述的圆片倒角磨削 机构, 其特 征在于, 所述方法包括: 将圆片平放在磨削皿中; 将压块放至所述圆片上; 启动转动件, 所述转动件驱动所述磨削皿沿所述磨削皿的中轴线转动, 完成所述圆片 的倒角加工 。 10.如权利要求9所述的一种圆片倒角磨削机构的使用方法, 其特征在于, 当启动所述 转动件时, 打开水泵开关, 水流对准圆片。权 利 要 求 书 1/1 页 2 CN 115229602 A 2一种圆片倒角磨削机构及使用方 法 技术领域 [0001]本申请涉及 圆片加工设备领域, 具体而言, 涉及一种圆片倒角磨削机构及使用方 法。 背景技术 [0002]蓝宝石晶片由高纯度透明蓝宝石 (Al2O3单晶) 经双面抛光制得, 由于蓝宝石的光学 穿透带很宽, 从300nm ‑4500nm都有很好的透光性, 且蓝宝石晶片具有宽范围的抗化学腐 蚀 性能, 蓝宝石晶片表面可以抛光到微英寸级别, 因此蓝宝石晶片是薄膜研究和光学研究中 较好的基底。 [0003]在蓝宝石晶片等圆片的加工过程中, 切割后的圆片边缘会形成锐利尖角或产生轻 微破碎, 因此为了降低后道工序中进一步扩大圆片不良影响的情况发生, 对切割后的晶片 等圆片进行倒角处理成为圆片加工工艺中必不可少的环节。 通常是通过CNC倒角工艺对圆 片的周壁进行倒角处 理, 即采用专用的CNC倒角切割设备对圆片进行倒角加工 。 [0004]然而, 通过CNC倒角切割设备对晶片等圆片的周壁进行倒角处理时, 存在圆片在倒 角时因幅宽不均而导 致后续成品崩边 率高的情况。 发明内容 [0005]为了解决倒角时圆片因幅宽不均而导致后续成品崩边率高的问题, 本申请提供了 一种圆片倒角磨削机构及使用方法。 [0006]本申请的实施例是这样实现的: 本申请实施例的第一方面 提供一种圆片倒角磨削机构, 所述机构包括: 磨削皿, 所述磨削皿正置后, 由下至上呈扩口圆筒状; 圆片放置在所述磨削皿中且 与所述磨削皿 转动连接; 转动件, 用于驱动所述磨削皿沿所述磨削皿的中轴线转动; 压块, 位于所述圆片的上方且所述压块的底壁与所述圆片的顶壁贴合, 所述压块 用于使所述圆片与所述磨削皿产生 转动速度差 。 [0007]在一些实施例中, 圆片倒角磨削机构还 包括位置调节件, 位置调节件 包括: 压杆, 与所述压块 转动连接, 且所述压杆向靠 近或者远离所述压块的方向移动; 驱动件, 用于驱动所述压杆向靠 近或者远离所述压块的方向移动。 [0008]在一些实施例中, 所述位置调节件还包括旋转件, 所述旋转件用于驱动所述压杆 带动所述压块 转动; 其中, 所述压杆的转轴方向与所述压块所在的平面平行。 [0009]在一些实施例中, 所述压杆的转动角度为2度 ‑6度。 [0010]在一些实施例中, 所述磨削皿采用电镀式器皿或者烧结式器皿。 [0011]在一些实施例中, 所述磨削皿采用金刚石材料制成, 且所述圆片倒角面的粗糙度 随着金刚石磨削皿目数的增大而增大。 [0012]在一些实施例中, 所述磨削皿的底部设有连接座, 所述连接座与所述磨削皿固定说 明 书 1/5 页 3 CN 115229602 A 3
专利 一种圆片倒角磨削机构及使用方法
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