(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202220546832.3 (22)申请日 2022.03.14 (73)专利权人 苏州金琳芯 半导体科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市中国 （江苏） 自 由贸易试验区苏州片区华云路1号东 坊产业园C区8号楼4楼420 (72)发明人 周小琳　 (74)专利代理 机构 南京文宸知识产权代理有限 公司 325 00 专利代理师 林有娣 (51)Int.Cl. B62B 3/02(2006.01) B62B 3/04(2006.01) (54)实用新型名称 一种12寸晶圆炉管 搬运治具 (57)摘要 本实用新型涉及晶圆技术领域， 且公开了一 种12寸晶圆炉管搬运治具， 包括底板， 所述底板 的底部安装有支撑轮， 所述底板的顶部安装有拉 杆， 所述底板的顶部固定连接有固定柱， 所述固 定柱的内部螺纹连接有升降丝杆， 所述升降丝杆 的外壁传动连接有皮带。 该 12寸晶圆炉管搬运治 具， 转动调节盘， 此时升降丝杆在固定柱的内部 上下运动， 进一步使 得升降滑槽带动滑动板上下 运动， 推动把手， 滑动板可 以在升降滑槽的内部 运动， 从而达到了便于调节高度和位置方便晶圆 炉管搬运的效果。 转动旋钮， 此时移动块在限位 槽的限制下沿着横向丝杆的外壁运动， 进一步使 得两个固定板相互靠近， 从而达到了便于对不同 尺寸的晶圆炉管进行固定的效果。 权利要求书1页 说明书3页 附图5页 CN 216994402 U 2022.07.19 CN 216994402 U 1.一种12寸晶圆炉管搬运治具， 包括底板(1)， 其特征在于： 所述底板(1)的底部安装有 支撑轮(2)， 所述底板(1)的顶部安装有拉杆(3)， 所述底板(1)的顶部固定连接有固定柱 (4)， 所述固定柱(4)的内部螺纹连接有升降丝杆(5)， 所述升降丝杆(5)的外壁传动连接有 皮带(6)， 所述升降丝杆(5)的顶部固定连接有调节盘(7)， 所述升降丝杆(5)的外壁转动连 接有升降滑槽(8)， 所述升降滑槽(8)顶部的内部滑动连接有滑动板(9)， 所述滑动板(9)的 底部安装有滑轮(10)， 所述滑动板(9)的一侧固定连接有把手(11)， 所述滑动板(9)的内部 转动连接有横向丝杆(12)， 所述横向丝杆(12)的一端固定连接有旋钮(13)， 所述横向丝杆 (12)远离旋钮(13)一侧的外壁螺纹连接有移动块(14)， 所述移动块(14)的一端固定连接有 固定板(15)， 所述移动块(14)的外壁固定连接有限位板(16)， 所述限位板(16)的外壁滑动 连接有限位槽(17)。 2.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆炉管搬运治具， 其特征在于： 所述固定柱(4)的 内部设有与升降丝杆(5)的外壁相适配的螺纹。 3.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆炉管搬运治具， 其特征在于： 所述皮带(6)两侧 内部的结构对称设置 。 4.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆炉管搬运治具， 其特征在于： 所述滑动板(9)的 底部通过滑轮(10)与升降滑槽(8)的顶部滑动连接 。 5.根据权利 要求1所述的一种12寸晶圆炉管搬运治具， 其特征在于： 所述移动块(14)的 内部有与横向丝杆(12)的外壁相适配的螺纹。 6.根据权利要求1所述的一种12寸晶圆炉管搬运治具， 其特征在于： 所述滑动板(9)的 中部开设有近圆形凹槽， 且这个近圆形凹槽 两端的内部分别设有固定 板(15)。 7.根据权利 要求1所述的一种12寸晶圆炉管搬运治具， 其特征在于： 所述限位槽(17)开 设在滑动板(9)的内部 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 216994402 U 2一种12寸晶圆炉管搬运治 具 技术领域 [0001]本实用新型 涉及晶圆技 术领域， 具体为 一种12寸晶圆炉管 搬运治具。 背景技术 [0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅 晶片， 其原始材料是硅。 高纯度的多晶硅溶 解后掺入硅晶体晶种， 然后慢慢拉出， 形成圆柱形的单晶硅。 硅晶棒在经过研磨， 抛光， 切片 后， 形成硅晶圆片， 也 就是晶圆。 国内晶圆生产线以8英寸和12英寸 为主。 [0003]在对12寸晶圆炉管进行搬运过程中， 现有的搬运治具结构固定， 无法调节高度和 位置， 搬运时需要耗费较大的体力， 不利于安全搬运， 且现有的搬运治 具只能搬运同一型号 的炉管， 降低了搬运治 具的应用范围， 为解决上述问题， 我们提出了一种12 寸晶圆炉管搬运 治具。 实用新型内容 [0004]针对现有技术的不足， 为解决上述的问题， 本实用新型提供如下技术方案： 一种12 寸晶圆炉管搬运治 具， 包括底板， 所述底板的底部安装有支撑轮， 所述底板的顶部安装有拉 杆， 所述底板的顶部固定连接有固定柱， 所述固定柱的内部螺纹连接有升降丝杆， 所述升降 丝杆的外壁传动连接有皮带， 所述升降丝杆 的顶部固定连接有调节盘， 所述升降丝杆的外 壁转动连接有升降滑槽， 所述升降滑槽顶部的内部滑动连接有滑动板， 所述滑动板的底部 安装有滑轮， 所述滑动板的一侧固定连接有把手， 所述滑动板的内部转动连接有横向丝杆， 所述横向丝杆的一端固定连接有旋钮， 所述横向丝杆远离旋钮一侧的外壁螺纹连接有移动 块， 所述移动块的一端固定连接有固定板， 所述移动块的外壁固定连接有限位板， 所述限位 板的外壁滑动连接有限位槽 。 [0005]进一步的， 所述固定柱的内部设有与升降丝杆的外壁相适配的螺纹。 [0006]进一步的， 所述皮带两侧内部的结构对称设置 。 [0007]进一步的， 所述滑动板的底部通过滑轮与升降滑槽的顶部滑动连接 。 [0008]进一步的， 所述移动块的内部有与横向丝杆的外壁相适配的螺纹。 [0009]进一步的， 所述滑动板 的中部开设有近圆形凹槽， 且这个近圆形凹槽两端的内部 分别设有固定 板。 [0010]进一步的， 所述限位槽开设在滑动板的内部 。 [0011]与现有技术相比， 本实用新型提供了一种12寸晶圆炉管搬运治具， 具备以下有益 效果： [0012]1、 该12寸晶圆炉管搬运治具， 转动调节盘， 此时升降丝杆在固定柱的内部上下运 动， 进一步使得升降滑槽带动滑动板上下运动， 推动把手， 滑动板可以在升降滑槽的内部运 动， 从而达 到了便于调节高度和位置方便晶圆炉管 搬运的效果。 [0013]2、 该12寸晶圆炉管搬运治具， 转动旋钮， 此时移动块在限位槽的限制下沿着横向 丝杆的外壁运动， 进一步使得两个固定板相互靠近， 从而达到了便于对不同尺寸的晶圆炉说　明　书 1/3 页 3 CN 216994402 U 3