(19)国家知识产权局 (12)发明 专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202210694218.6 (22)申请日 2022.06.20 (65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 114769203 A (43)申请公布日 2022.07.22 (73)专利权人 沈阳和研科技有限公司 地址 110000 辽宁省沈阳市皇姑区步云山 路53号 (72)发明人 张明明　石文　王晓禹　徐双双　 吴洪柏　 (74)专利代理 机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通 合伙) 11463 专利代理师 姜波 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01)(56)对比文件 CN 209681434 U,2019.1 1.26 CN 111940389 A,2020.1 1.17 CN 21081343 5 U,2020.0 6.23 CN 111543918 A,2020.08.18 CN 215619198 U,202 2.01.25 CN 210045661 U,2020.02.1 1 CN 210980407 U,2020.07.10 CN 203505510 U,2014.04.02 JP 20120 55845 A,2012.0 3.22 审查员 李惠 (54)发明名称 用于划片机的工件冲洗装置及划片机 (57)摘要 本发明涉及半导体切割技术领域， 提供了一 种用于划片机的工件冲洗装置及划片机， 该工件 冲洗装置， 包括： 至少一个水帘管组件； 水帘管组 件包括： 水帘管、 以及位于水帘管两端的第一进 水接头和第二进水接头； 水帘管包括管套和嵌套 在管套内的通水管组件。 本发明通过在水帘管的 两端分别设置进水接头， 可 以缩短水流行程， 从 而减小水帘管长度方向上的压力差； 同时通过设 置长度不同的流道与不同喷水孔密封连通， 从而 为不同区域的喷水孔提供压力均衡的独立封闭 流道， 进而确保各喷水孔的出水压力均衡， 提升 冲洗效果的同时还可以有效保护工件不受损坏， 并且该冲洗装置的整体结构更为紧凑， 占用空间 小， 有利于划片机上的零部件合理布局。 权利要求书2页 说明书8页 附图5页 CN 114769203 B 2022.10.14 CN 114769203 B 1.一种用于划片机的工件冲洗装置， 其特征在于， 包括： 至少一个水帘管组件； 所述水 帘管组件包括： 水帘管、 第一进 水接头以及第二进 水接头； 所述第一进 水接头与所述水帘管 的一端连通， 用于与外部水管连接； 所述第二进 水接头与所述水帘管的另一端连通， 用于与 外部水管连接； 所述水帘管包括管套和嵌套在所述管套内的通水管组件， 所述管套上设有沿轴向排布 的多个第一喷水孔和多个第二喷水孔； 多个所述第一喷水孔靠近所述第一进水接头设置， 多个所述第二喷水孔靠 近所述第二进水接 头设置； 所述通水管组件内包括多个长度不同的第 一流道以及多个长度不同的第 二流道， 所述 第一流道的一端与所述第一进水接头连通， 另一端与所述第一喷水孔密封连通； 所述第二 流道的一端与所述第二进水接 头连通， 另一端与所述第二喷水孔密封连通； 所述通水管组件包括： 通水管套、 以及嵌套在所述通水管套内长度不同的多根第一通 水管和长度不同的多根第二 通水管； 所述第一通水管的一端与 所述第一进水接头对接， 所述第 一通水管的另一端的端部封 堵、 且在靠近所述端部的位置设有沿轴向排布的多个第一出水孔； 所述通水管套上设有与 所述第一出水孔一一对应的第一开孔， 所述第一开孔与所述第一喷水孔密封连通， 使得所 述第一通水管形成所述第一 流道； 所述第二通水管的一端与 所述第二进水接头对接， 所述第 二通水管的另一端的端部封 堵、 且在靠近所述端部的位置设有沿轴向排布的多个第二出水孔； 所述通水管套上设有与 所述第二出水孔一一对应的第二开孔， 所述第二开孔与所述第二喷水孔密封连通， 使得所 述第二通水管形成所述第二 流道。 2.根据权利要求1所述的用于划片机的工件冲洗装置， 其特征在于， 所述通水管套的外 表面沿轴向设有多个环形密封槽， 所述第一开孔和所述第二开孔均位于相 邻的所述环形密 封槽之间； 所述环形密封槽内套设有密封圈， 所述密封圈的外圈与所述管套的内壁密封贴合， 所 述第一喷水孔和所述第二喷水孔均位于相邻的所述密封圈之间。 3.根据权利要求1所述的用于划片机的工件冲洗装置， 其特征在于， 对于不同长度的多 根所述第一通水管， 不同所述第一通水管上的所述第一出水孔沿着所述通水管套的周向错 位布置； 和/或， 对于不同长度的多根所述第 二通水管， 不同所述第 二通水管上的所述第 二出水 孔沿着所述 通水管套的周向错 位布置。 4.根据权利要求1所述的用于划片机的工件冲洗装置， 其特征在于， 对于不同长度的多 根所述第一通水管， 所述第一通水管上的第一出水孔的孔径与所述第一通水管的长度成反 比； 和/或， 对于不同长度的多根所述第 二通水管， 所述第 二通水管上的第 二出水孔的孔径 与所述第二 通水管的长度成反比。 5.根据权利要求1所述的用于划片机的工件冲洗装置， 其特征在于， 多根所述第 一通水 管的长度依次递增且长度差相等； 多根所述第二 通水管的长度依次递增且长度差相等； 多根所述第一 通水管与多根所述第二 通水管在所述 通水管套的两端对称设置 。 6.根据权利要求1所述的用于划片机的工件冲洗装置， 其特征在于， 所述第 一喷水孔和权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114769203 B 2第二喷水孔为梯形孔， 所述梯形孔朝向所述管套外部一端的面积大于朝向所述管套内部一 端的面积， 所述梯形孔侧壁的倾 斜角度为15 °~25°。 7.根据权利要求1所述的用于划片机的工件冲洗装置， 其特征在于， 所述水帘管组件的 数量为两个， 两个所述水帘管组件的所述第二进水接 头相对设置且固定连接为 一个整体。 8.一种划片机， 其特征在于， 包括： 主轴、 切割工作台和如权利要求1至7中任一项所述 的用于划片机的工件冲洗装置； 所述工件冲洗装置用于对所述切割工作台上 经所述主轴切割后的工件进行清洗 。 9.根据权利要求8所述的划片机， 其特征在于， 所述第 一喷水孔和所述第 二喷水孔的喷 射方向与所述切割工作台所在的平面之间的夹角为 40°~50°。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114769203 B 3