(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210607600.9 (22)申请日 2022.05.31 (71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司 地址 100176 北京市大兴区经济技 术开发 区文昌大道8号 (72)发明人 王海阔　杨慧毓　谢志勇　宋爱军　 (74)专利代理 机构 北京国昊天诚知识产权代理 有限公司 1 1315 专利代理师 兰天爵 (51)Int.Cl. H01L 21/687(2006.01) H01L 21/67(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 3/08(2006.01) (54)发明名称 晶圆夹持装置及清洗设备 (57)摘要 本发明公开一种晶圆夹持装置及清洗 设备， 晶圆夹持装置包括基座和多个夹持件； 基座包括 主体部和凸起部， 凸起部的顶 面凸出于主体部的 顶面， 主体部的顶面与凸起部的外侧壁围成避让 凹槽， 避让凹槽用于避让清洗设备的机械手； 多 个夹持件可 活动的设置于主体部， 多个夹持件沿 凸起部的周向间隔排布， 每个夹持件 可相对凸起 部运动， 以实现在清洗工艺时对晶圆进行夹持或 在取放片时对晶圆进行限位； 凸起部的顶面开设 有多个间隔分布的吹气孔， 吹气孔可切换通入第 一流量或第二流量的气体， 第一流量的气体， 用 于多个夹持件与晶圆相分离时以托举晶圆； 第二 流量的气体， 用于在多个夹持件夹持晶圆时以吹 扫晶圆。 上述方案能够解决晶圆在 清洗过程中产 生缺陷的问题。 权利要求书2页 说明书9页 附图8页 CN 114883242 A 2022.08.09 CN 114883242 A 1.一种晶圆夹持装置， 所述晶圆夹持装置(100)应用于清洗设备， 其特征在于， 所述晶 圆夹持装置(10 0)包括基座(1 10)和多个夹持件(120)； 所述基座(110)包括主体部(111)和凸起部(112)， 所述主体部(111)沿所述凸起部 (112)的周向环绕所述凸起部(112)设置， 所述凸起部(112)的顶面凸出于所述主体部(111) 的顶面， 所述主体部(111)的顶面与所述凸起部(112)的外侧壁围成避让凹槽(113)， 所述避 让凹槽(1 13)用于避让 所述清洗设备的机 械手(300)； 所述多个夹持件(120)可活动的设置于所述主体部(111)， 所述多个夹持件(120)沿所 述凸起部(112)的周向间隔排布， 每个所述夹持件(120)可相对所述凸起部(112)运动， 以实 现在清洗 工艺时对晶圆(6 00)进行夹持 或在取放片时对所述晶圆(6 00)进行限位； 所述凸起部(112)的顶面开设有多个间隔分布的吹气孔(1121)， 所述吹气孔(1121)可 切换通入第一流量或第二流量的气体， 所述第一流量的气体， 用于多个所述夹持件(120)与 所述晶圆(600)相分离时以托举所述晶圆(600)； 所述第二流量的气体， 用于在所述多个夹 持件(120)夹持所述晶圆(6 00)时以吹扫所述晶圆(6 00)。 2.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置， 其特征在于， 所述主体部(111)与所述凸起部 (112)为一体式结构件。 3.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置， 其特征在于， 所述吹气孔(1121)包括出口端 (1121a)和入口端(1121b)， 在所述出口端(1121a)指向所述入口端(1121b)的方向上， 所述 吹气孔(1 121)与所述凸起部(1 12)的外侧壁的距离逐渐增大。 4.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置， 其特征在于， 所述主体部(111)背离所述凸起 部(112)的一侧的边 缘设置有倒角。 5.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置， 其特征在于， 所述夹持件(120)包括转动座 (121)和顶针(122)， 所述顶针(122)设置于所述转动座(121)上， 且设置于所述转动座(121) 的边缘； 所述晶圆夹持装置(100)还包括第一驱动机构， 所述第一驱动机构驱动所述转动座 (121)绕其中心轴线转动。 6.根据权利要求5所述的晶圆夹持装置， 其特征在于， 所述转动座(121)包括转轴 (1212)和齿轮(1211)， 所述齿轮(1211)和所述顶 针(122)分别位于 所述转轴(1212)的两端， 所述齿轮(1211)的中心轴线与所述转轴(1212)的中心轴线相重合， 所述第一 驱动机构与所 述齿轮(121 1)相啮合。 7.根据权利要求6所述的晶圆夹持装置， 其特征在于， 所述基座(110)还包括有承载部 (114)， 所述承载部(114)与所述主体部(111)相叠置， 所述承 载部(114)与所述主体部(111) 之间围设有容纳空间， 所述第一驱动机构位于所述 容纳空间内； 所述主体部(111)的顶面开设有多个通孔， 所述多个通孔与所述多个夹持件(120)一一 对应设置， 所述多个通孔均与所述容纳空间相连通， 所述转动座(121)的至少部分位于所述 通孔内， 所述顶针(123)的至少部分位于所述通孔之外， 所述转动座(121)可相对于所述通 孔转动。 8.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置， 其特征在于， 所述凸起部(112)的顶面与所述 主体部(111)的顶面的距离为0.1mm至20mm之间， 所述凸起部(112)的边缘与所述主体部 (111)的边缘的距离为0.1m m至20mm。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 114883242 A 29.一种清洗设备， 其特征在于， 包括清洗槽(200)、 机械手(300)、 清洗机构(400)和权利 要求1至8中任一项所述的晶圆夹持装置(100)， 所述晶圆夹持装置(100)位于所述清洗槽 (200)内， 所述清洗机构(400)用于清洗所述晶圆(600)， 所述机械手(300)用于传输所述晶 圆(600)。 10.根据权利要求9所述的清洗设备， 其特征在于， 所述清洗设备还包括第二驱动机构 (500)， 所述第二驱动机构(500)位于所述清洗槽(200)内， 并与所述基座(110)相连接， 所述 第二驱动机构(5 00)用于驱动所述基座(1 10)沿其中心轴线转动； 所述第二驱动机构(500)还可驱动所述基座(110)升降， 所述清洗槽(200)的内侧壁沿 所述基座(110)的升降方向设置有多个间隔分布的清洗液收集层(210)， 在所述清洗机构 (400)清洗所述晶圆(600)时， 所述第二 驱动机构(500)将所述基座(110)移动至所述清洗机 构(400)所用的清洗液对应的所述清洗液收集层(210)。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 114883242 A 3