(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210792537.0 (22)申请日 2022.07.05 (71)申请人 株洲火炬安泰新材 料有限公司 地址 412000 湖南省株洲市天元区湘芸路 2586号 (72)发明人 唐安泰　唐智勇　 (51)Int.Cl. B08B 3/08(2006.01) B08B 3/10(2006.01) B08B 3/12(2006.01) B08B 3/02(2006.01) C23C 14/34(2006.01) F26B 21/14(2006.01) (54)发明名称 一种金属氧化物溅射靶材的表面处 理方法 (57)摘要 本申请公开了一种金属氧化物溅射靶材的 表面处理方法， 涉及溅射靶材表面处理技术领 域， 包括如下具体步骤： S1、 取一块溅射靶材， 并 进行初步擦拭； S2、 对溅射靶材进行超声处理， 同 步使用含碳氢基团的有机 溶剂； S3、 使用 Ⅰ号洗液 将溅射靶材煮至沸腾即可； S4、 使用 Ⅱ号洗液对 溅射靶材进行浸泡处理； S5、 使用 Ⅲ号洗液对溅 射靶材煮沸， 直至颜色变淡； S6、 烘干处理； S7、 真 空封装； 其技术要点为， 依次使用三种洗液完成 对溅射靶材的表面处理， 实现了去油、 去离子以 及去原子的清洁处理， 保证处理完成后溅射靶材 表面的洁净性， 保证溅射靶材后续能够进行正常 使用， 与传统对 溅射靶材表面清洗处理的步骤相 比， 本方案中清洗效果大 大增强。 权利要求书2页 说明书5页 附图1页 CN 115228829 A 2022.10.25 CN 115228829 A 1.一种金属氧化物溅射靶材的表面处 理方法， 其特 征在于， 包括如下 具体步骤： S1、 取一块溅射靶材， 并进行初步擦拭； S2、 对溅射靶材进行超声处 理， 同步使用含碳氢基团的有机溶剂； S3、 使用Ⅰ号洗液将溅射靶材煮至沸腾即可； S4、 使用Ⅱ号洗液对溅射靶材进行浸泡处 理； S5、 使用Ⅲ号洗液对溅射靶材煮沸， 直至颜色变淡； S6、 烘干处 理； S7、 真空封装。 2.如权利要求1所述的一种金属氧化物溅射靶材的表面处理方法， 其特征在于： 在所述 S1中， 所述溅射靶材为管状或是板状结构， 且溅射靶材采用单晶硅片制备而成。 3.如权利要求1所述的一种金属氧化物溅射靶材的表面处理方法， 其特征在于： 在所述 S1中， 初步擦拭时使用酒精对溅射靶材表面进行擦拭， 擦拭的具体步骤为： 先擦正面而后擦反面， 并在擦拭过程中始终朝着一个方向进行移动； 上述使用的酒精浓度至少为95％。 4.如权利要求1所述的一种金属氧化物溅射靶材的表面处理方法， 其特征在于： 在所述 S2中， 超声处理时使用的有机溶剂包含甲苯、 丙酮以及无水乙醇， 且甲苯、 丙酮以及无水乙醇 按照顺序进行使用， 每使用一种有机溶剂时， 超声处 理的时间控制在3mi n‑5min。 5.如权利要求1所述的一种金属氧化物溅射靶材的表面处理方法， 其特征在于： 在所述 S3中， Ⅰ号洗液包 含浓硫酸， 对溅射靶材煮至沸腾时， 需要确保白烟冒出。 6.如权利要求1所述的一种金属氧化物溅射靶材的表面处理方法， 其特征在于： 在所述 S4中， Ⅱ号洗液包含氢氟酸稀释液， 且氢氟酸稀释液中氢氟酸： 纯水的比例为1:1， 浸泡处理 的时间控制在20s ‑40s。 7.如权利要求1所述的一种金属氧化物溅射靶材的表面处理方法， 其特征在于： 在所述 S5中， Ⅲ号洗液包含王水， 且王水中硝酸： 氯化氢的比例为1:3， 煮沸的次数至少为两遍， 颜色 变淡的程度呈半透明状即可。 8.如权利要求1所述的一种金属氧化物溅射靶材的表面处理方法， 其特征在于： 在所述 S6中， 进行烘干操作时需要 使用到电炉烘 箱， 电炉烘 箱加热的温度控制在40℃ ‑80℃。 9.如权利要求1所述的一种金属氧化物溅射靶材的表面处理方法， 其特征在于： 在所述 S2‑S5中， 对溅射靶材处理完成后均需要使用去离子水进行冲洗操作， 其中S2中超声处理后的溅 射靶材需要 使用热去离 子水冲洗 。权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115228829 A 210.如权利要求1所述的一种金属氧化物溅射靶材的表面处理方法， 其特征在于： 在所 述S7中， 对经过烘干后的溅射靶材取出， 并使用纯净干燥的冷氮气吹干， 放入真空包装袋中使 用真空机进行包 装保存。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115228829 A 3