(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210921688.1 (22)申请日 2022.08.02 (71)申请人 牧哲 （上海） 自动化科技有限公司 地址 200000 上海市闵行区申旺路789号 (临)4幢4楼41 1室 (72)发明人 罗琳　 (74)专利代理 机构 上海宣宜专利代理事务所 (普通合伙) 3128 8 专利代理师 邢黎华 (51)Int.Cl. B08B 3/02(2006.01) B07C 5/34(2006.01) (54)发明名称 一种芯片全方位清洗拣选 机及清洗方法 (57)摘要 本申请涉及一种芯片全方位清洗拣选机及 清洗方法， 涉及芯片清洗技术领域， 其包括机架， 机架上设置有第一治具放置盘与第二治具放置 盘， 第一治具放置盘上摆放待清洗的芯片， 第二 治具放置盘上摆放清洗完成的芯片， 机架上设置 有第一滑移组件与第二滑移组件， 第一滑移组件 与第二滑移组件带动第一治具放置盘与第二治 具放置盘在机架上滑移， 第一治具放置盘与第二 治具放置盘 之间设置有第一清洗组件、 第二清洗 组件、 第三清洗组件、 第四清洗组件， 为 芯片进行 清洁， 机架上设置有烘干组件， 烘干组件对芯片 进行烘干处理。 本申请具有对芯片的六个面进行 全方位的清洗， 能够提升芯片清洗的效率， 提升 芯片的清洁 效果。 权利要求书3页 说明书9页 附图5页 CN 115301610 A 2022.11.08 CN 115301610 A 1.一种芯片全方位清洗拣选 机， 包括机架(1)， 其特 征在于： 所述机架(1)上设置有第一治具放置盘(11)， 所述第一治具放置盘(11)与所述机架(1) 之间设置有第一滑移组件(2)， 所述第一滑移组件(2)带动所述第一治 具放置盘(11)在所述 机架(1)上滑 移； 所述机架(1)上设置有第一清洗组件(3)， 所述第一清洗组件(3)对芯片的下表面进行 清洗， 且所述机架(1)上设置有第一机械手(13)， 所述第一机械手(13)将所述治 具放置盘上 的芯片抓取至所述第一清洗组件(3)； 所述机架(1)上设置有第二清洗组件(4)， 所述第二清洗组件(4)对芯片的上表面进行 清洗， 所述第一机 械手(13)将位于所述第一清洗组件(3)的芯片抓取至第二清洗组件(4)； 所述机架(1)上设置有第三清洗组件(5)， 所述第三清洗组件(5)对芯片宽度方向的两 侧面进行清洗， 且 所述机架(1)上设置有第二机械手(14)， 所述第二机械手(14)将所述第二 清洗组件(4)上的芯片抓取至所述第三清洗组件(5)； 所述机架(1)上设置有第四清洗组件(6)， 所述第四清洗组件(6)对芯片长度方向的两 侧面进行清洗， 且 所述机架(1)上设置有第三机械手(15)， 所述第三机械手(15)将所述第三 清洗组件(5)上的芯片抓取至所述第四清洗组件(6)； 所述机架(1)上设置有烘干组件(7)， 所述烘干组件(7)对清洗后的芯片进行烘干， 且所 述第三机 械手(15)将所述第四清洗组件(6)上的芯片抓取至所述烘干组件(7)； 所述机架(1)上设置有第二治具放置盘(12)， 所述第二治具放置盘(12)与所述机架(1) 之间设置有第二滑移组件(8)， 所述第二滑移组件(8)带动所述第二治 具放置盘(12)在所述 机架(1)上滑移， 且所述机架(1)上设置有第四机械手(16)， 所述第四机械手(16)将芯片从 所述烘干组件(7)抓取至所述第二治具放置盘(12)上。 2.根据权利要求1所述的一种芯片全方位清洗拣选机， 其特征在于： 所述第 一滑移组件 (2)包括第一滑杆(21)， 所述第一滑杆(21)安装在所述机架(1)上， 所述第一滑杆(21)上设 置有第一滑移气缸(22)， 所述第一滑移气缸(22)滑移在所述第一滑杆(21)上， 所述第一治 具放置盘(1 1)安装在所述第一滑 移气缸(2 2)上。 3.根据权利要求1所述的一种芯片全方位清洗拣选机， 其特征在于： 所述第 一清洗组件 (3)包括水箱(31)， 所述水箱(31)内设置有第一毛刷(32)， 所述第一毛刷(32)的刷毛 方向朝 向竖直方向的上侧， 所述水箱(31)靠近所述毛刷的两侧均设置有第一喷水管(33)， 所述第 一喷水管(33)的一端朝向所述第一毛刷(32)； 所述第一机械手(13)上设置有第一吸盘 (34)， 所述第一吸盘(34)在所述第一机械手(13)的带动下在所述第一治具放置盘(11)与所 述水箱(31)之间做往复运动。 4.根据权利要求3所述的一种芯片全方位清洗拣选机， 其特征在于： 所述第 二清洗组件 (4)包括升降气缸(41)， 所述升降气缸(41)安装在所述机架(1)上， 且所述升降气缸(41)上 设置有安装板(42)， 所述安装板(42)上设置有第二毛刷(43)， 所述第二毛刷(43)的刷毛方 向朝向竖直方向的下侧， 所述安装板(42)靠近所述第二毛刷(43)的两侧均设置有第二喷水 管(44)， 所述第二喷水管(44)的一端朝向所述第二毛刷(43)； 所述机架(1)上设置有滑块 (45)， 所述滑块(45)滑移在所述水箱(31)与所述安装板(42)之间， 且所述滑块(45)上设置 有第一定位盘(46)。 5.根据权利要求4所述的一种芯片全方位清洗拣选机， 其特征在于： 所述第 三清洗组件权　利　要　求　书 1/3 页 2 CN 115301610 A 2(5)包括第三毛刷(51)， 所述第三毛刷(51)位于所述芯片宽度方向的两侧呈相对设置， 且 所 述机架(1)上设置有第三喷水管(52)， 所述第三喷水管(52)朝向所述第三毛刷(51)的一侧， 所述机架(1)上设置有第一支撑杆(53)与第一压板(54)， 所述第一支撑板与第一压板(54) 之间形成有第一芯片 夹持区(55)， 所述第一支撑杆(53)与第一压板(54)在相对设置的所述 第三毛刷(51)之间滑移； 所述第二机械手(14)上设置有第二吸盘(56)， 所述第二吸盘(56) 在所述第二机械手(14)的带动下， 在所述第一定位盘(46)与所述第一支撑杆(53)之间往复 运动。 6.根据权利要求5所述的一种芯片全方位清洗拣选机， 其特征在于： 所述第四清洗组件 (6)包括第四毛刷(61)， 所述第四毛刷(61)位于所述芯片长度方向的两侧呈相对设置， 且 所 述机架(1)上设置有第四喷水管(62)， 所述第四喷水管(62)朝向所述第四毛刷(61)的一侧， 所述机架(1)上设置有第二支撑杆(63)与第二压板(64)， 所述第二支撑板与第二压板(64) 之间形成有第二芯片 夹持区(65)， 所述第二支撑杆(63)与第二压板(64)在相对设置的所述 第四毛刷(61)之间滑移； 所述第一支撑杆(53)与所述第二支撑杆(63)之间设置有第二定位 盘(66)， 所述第二定位盘(66)摆放在所述机架(1)上， 所述第二机械手(14)驱动所述第二吸 盘(56)在所述第一支撑杆(53)与所述第二定位盘(66)之间移动， 所述第三机械手(15)上设 置有第三吸盘(67)， 所述第三吸盘(67)在所述第三机械手(15)的带动 下， 在所述第二定位 盘(66)与所述第二支撑杆(6 3)之间往复运动。 7.根据权利要求6所述的一种芯片全方位清洗拣选机， 其特征在于： 所述烘干组件(7) 包括烘干罩(71)， 所述烘干罩(71)在所述机架(1)上升降， 且所述烘干罩(71)上设置有通气 管(72)， 所述通气管(72)的一端与所述烘干罩(71)连接， 另一端与烘干箱连接； 所述机架 (1)上设置有第三定位盘(73)， 所述第三定位盘(73)滑移在所述机架(1)上， 所述第三机械 手(15)带动所述第三吸盘(67)在所述第二支撑杆(6 3)与所述第三定位盘(73)之间移动。 8.根据权利要求7所述的一种芯片全方位清洗拣选机， 其特征在于： 所述第 二滑移组件 (8)包括第二滑杆(81)， 所述第二滑杆(81)安装在所述机架(1)上， 所述第二滑杆(81)上设 置有第二滑移气缸(82)， 所述第二滑移气缸(82)滑移在所述第二滑杆(81)上， 所述第二治 具放置盘(12)安装在所述第二滑移气缸(82)上； 所述第四机械手(16)上设置有第四吸盘 (83)， 所述第四吸盘(83)在所述第四机械手(16)的带动下在所述第三定位盘(73)与所述第 二治具放置盘(12)之间移动。 9.根据权利要求1所述的一种芯片全方位清洗拣选机的清洗方法， 其特征在于： 包括以 下步骤： 步骤一： 将待清洗的芯片安装在第一治具放置盘(11)上， 然后第一滑移组件(2)带动第 一治具放置盘(1 1)向靠近第一清洗组件(3)的一侧滑 移； 步骤二： 第一机械手(13)将第一治具放置盘(11)上的芯片抓取至第一清洗组件(3)， 第 一清洗组件(3)对芯片的上表面进行清洗； 步骤三： 第一清洗组件(3)对芯片清洗完成后， 第一机械手(13)将芯片从第一清洗组件 (3)抓取至第二清洗组件(4)， 第二清洗组件(4)对芯片的下表面进行清洗； 步骤四： 第二清洗组件(4)对芯片清洗完成后， 第二机械手(14)将芯片从第二清洗组件 (4)抓取至第三清洗组件(5)， 第三清洗组件(5)对芯片宽度方向的两侧面进行清洗； 步骤五： 第三清洗组件(5)对芯片清洗完成后， 第三机械手(15)将芯片从第三清洁组件权　利　要　求　书 2/3 页 3 CN 115301610 A 3