(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202211161350.7 (22)申请日 2022.09.23 (71)申请人 广州粤芯 半导体技 术有限公司 地址 510000 广东省广州市黄埔区凤 凰五 路28号 (72)发明人 刘云波　邓春成　 (74)专利代理 机构 上海思捷知识产权代理有限 公司 312 95 专利代理师 尤彩红 (51)Int.Cl. G06F 16/215(2019.01) G06F 16/22(2019.01) G06F 11/14(2006.01) (54)发明名称 炉管生产数据的处理方法及系统、 存储介质 及计算机设备 (57)摘要 本发明提供了一种炉管生产数据的处理方 法及系统、 存储介质及计算机设备， 包括炉管生 产数据的清除步骤： 获取炉管生产批次的编号， 所述炉管生产批次已经结束炉管工艺； 根据所述 炉管生产批次的编号获取多张所述炉管生产批 次的关联关系表， 将多张所述关联关系表的数据 关联后导出成一个炉管原始数据文件， 并建立炉 管索引文件记录所述炉管原始数据文件的文件 名、 所述炉管生产批次的编号以及所述炉管生产 批次内对应的多个小组的编号； 删除炉管生产数 据库中所述炉管生产批次的关联关系表的数据。 弥补了目前不能对炉管数据进行有效的数据清 除的解决方案； 炉管清除数据集中性好， 一个炉 管生产批次的数据都是在同一份文件中， 方便归 档与查找。 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 CN 115269581 A 2022.11.01 CN 115269581 A 1.一种炉管生产数据的处 理方法， 其特 征在于， 包括炉管生产数据的清除步骤： 获取炉管生产批次的编号， 所述炉管生产批次已经 结束炉管工艺； 根据所述炉 管生产批次的编号获取多 张所述炉 管生产批次的关联关系表， 将多 张所述 关联关系表的数据关联后导出成一个炉管原始数据文件， 并建立炉管索引文件记录所述炉 管原始数据文件的文件名、 所述炉管生产批次的编号以及所述炉管生产批次内对应的多个 小组的编号； 删除炉管生产数据库中所述炉管生产批次的关联关系表的数据。 2.如权利要求1所述的炉管生产 数据的处理方法， 其特征在于， 在获取一个炉 管生产批 次的编号之前， 建立所述炉管生产批次的关联关系表。 3.如权利要求1或2任一项所述的炉管生产数据的处理方法， 其特征在于， 所述炉管生 产批次的关联关系表包括多个小组在炉管内的位置分布、 不同小组内晶圆的生长膜厚和/ 或炉管内的温度分布。 4.如权利要求1所述的炉管生产 数据的处理方法， 其特征在于， 所述炉 管工艺包括扩散 工艺、 氧化工艺或者烧结工艺。 5.如权利要求1所述的炉管生产 数据的处理方法， 其特征在于， 根据所述炉 管生产批次 的编号、 小组的编号和关联关系表生成索引标记。 6.如权利要求1所述的炉管生产 数据的处理方法， 其特征在于， 还包括炉管生产 数据的 恢复步骤： 提供需要恢复炉管生产数据的小组编号； 根据小组 的编号与炉 管生产批次的编 号的关系获取需要恢 复的炉管生产批次的编号， 并根据需要恢复的炉管生产批次的编号获取对应的炉管原 始数据文件； 将所述炉管原 始数据文件中 需要的炉管 数据恢复到炉管生产数据库中。 7.一种炉管生产数据的处 理系统， 其特 征在于， 包括： 获取模块， 用于获取炉管生产批次的编号， 所述炉管生产批次已经 结束炉管工艺； 关联模块， 用于根据 所述炉管生产批次的编 号获取多 张所述炉 管生产批次的关联关系 表， 将多张所述关联关系表的数据关联后导出成一个炉管原 始数据文件； 记录模块， 用于建立炉管索引文件记录所述炉管原始数据文件的文件名、 所述炉管生 产批次的编号以及所述炉管生产批次内对应的多个小组的编号； 数据删除模块， 用于删除炉管生产数据库中所述炉管生产批次的关联关系表的数据。 8.如权利要求7所述的炉管生产 数据的处理系统， 其特征在于， 还包括关联关系表生成 模块， 用于建立所述炉管生产批次的关联关系表。 9.一种计算机可读存储介质， 其上储存有计算机程序， 其特征在于： 所述计算机程序被 处理器执行时实现如权利要求1 ‑6任意一项所述的炉管生产数据的处 理方法的步骤。 10.一种计算机设备， 其特征在于： 包括储存器、 处理器以及储存在所述储存器中并可 被所述处理器执行 的计算机程序， 所述处理器执行所述计算机程序时实现如权利要求1 ‑6 中任意一项所述的炉管生产数据的处 理方法的步骤。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 115269581 A 2炉管生产数据的处理 方法及系统、 存 储介质及计算机设 备 技术领域 [0001]本发明涉及半导体技术领域， 特别涉及一种炉管生产数据的处理方法及系统、 存 储介质及计算机设备。 背景技术 [0002]生产数据 整理和归档即生成数据清除 （Purge） ， 是指系统长期 运行， 数据增涨到一 定量之后， 影响到了系统的性能， 而且这些数据又只做历史查询极少被使用， 不会影响线 上 生产跑货 。 为了提高系统的运行效率， 把一定时间以前的历史数据从当前系统中导出， 做数 据整理， 备份到磁带， 然后删除生产系统相应的数据， 在有查询需要的时候进行恢复。 [0003]随着系统的复杂程度和工厂产能的提升， 特别是对实时性要求很高的生产系统， 数据清除技术保证系统性能和稳定的作用已经越来越大。 目前通常的数据 清除方式包括传 统按时间方式进行数据清除和以组 （Lot） 为单位进行数据清除， 这两种数据清除方式主要 存在三个 问题： 第一， 传统按时间方式进行数据清除， 对于只有时间维度的数据适应性高， 只需要按时间进行删除和恢复即可。 但是半导体生产是按小组 （Lot） 和 机台维度进行管理 的， 所以按时间方式进行数据 清除无法满足要求。 第二， 以小组 （Lot） 为单位进 行数据清除， 把整个小组 （Lot） 生产过程的数据进行导出和恢复， 可以解决小组 （Lot） 数据的完整归档。 一个小组的状态包括完成生产状态 （Finished）、 报废状态 （Scrapped）、 终止状态 （Terminate d） 、 扣留状态 （Hold） 、 暂存状态 （Bank） 和正在生产状态 （Run） 。 但是由于炉 管设 备的特性， 跑货的时候是把多个小组 （Lot） 绑定一起生产的， 炉管的多个小组一起反映出炉 管数据， 例如是炉管 的温度分布和每个位置晶圆的膜厚生长等数据， 但是进行下一个工序 时， 同一炉管 的多个组可能不能同时进入下一个工序的同一个炉管生产批次， 如果按小组 （Lot） 方式进 行数据清除不能完全的呈现炉管数据， 对于炉管数据来说数据完整性缺 失， 无 法满足要求。 第三， 在数据恢复时， 无论是传统按时间的方式还是以小组 （Lot） 为单位的方 式， 都不能完整的恢复炉管的生产资料 （炉管 是多个小组 （L ot） 绑定一 起跑货的） 。 [0004]因此目前的数据清除方式对炉管 数据的数据清除和后续恢复都不能很好的支持。 发明内容 [0005]本发明的目的在于提供一种炉管生产数据的处理方法及系统、 存储介质及计算机 设备， 以解决目前的数据 清除方式对炉管数据的数据 清除和后续恢复都不能满足要求的问 题。 [0006]为解决上述技术问题， 本发明提供一种炉管生产数据的处理方法， 包括炉管生产 数据的清除步骤： 获取炉管生产批次的编号， 所述炉管生产批次已经 结束炉管工艺； 根据所述炉管生产批次的编号获取多张所述炉管生产批次的关联关系表， 将多张 所述关联关系表的数据关联后导出成一个炉管原始数据文件， 并建立炉管索引文件记录所 述炉管原始数据文件的文件名、 所述炉管生产批次的编号以及所述炉管生产批次内对应的说　明　书 1/5 页 3 CN 115269581 A 3