(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221855663.8 (22)申请日 2022.07.19 (73)专利权人 广东长兴 半导体科技有限公司 地址 523000 广东省东莞 市松山湖园区科 技九路2号2栋101室、 201室、 3 01室 (72)发明人 张治强　 (74)专利代理 机构 东莞市永邦知识产权代理事 务所(普通 合伙) 44474 专利代理师 毛有帮 (51)Int.Cl. F26B 9/06(2006.01) F26B 21/14(2006.01) F26B 23/04(2006.01) F26B 25/04(2006.01) F26B 25/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种多功能真空烤箱 (57)摘要 本实用新型公开了一种多功能真空烤箱， 箱 体上设监控装置和中转腔， 箱 体与中转腔之间设 氮气进气通道、 空气进气通道、 排气通道， 中转腔 内设加热装置和烘烤腔。 本实用新型通过设置监 控装置、 与烘烤腔相连通的中转腔、 可自动开启 和关闭的氮气进气通道和排气通道， 使烤炉能进 行充氮气烘烤和常规烘烤， 操控便捷， 实现一机 两用， 提高烘烤机利用率， 降低设备购置经济成 本和管理成本； 通过在烘烤腔的内壁上设在若干 通孔， 既可实现烘烤腔与中转腔的气体连通， 又 便于根据实际情况架设撑板， 满足不同类型产品 的烘烤需要； 通过在中转腔内设置气体搅动装 置， 可加速气体的流动， 并使烘烤腔内各处保持 近乎相同浓度的气体， 确保烘烤后产品品质保持 稳定一致。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217876827 U 2022.11.22 CN 217876827 U 1.一种多功能真空烤箱， 包括箱体， 其特征在于， 所述箱体上设有监控装置和中转腔， 所述箱体与所述中转腔之 间设有氮气进气通道、 空气进气通道、 排气通道， 所述中转腔内设 有加热装置和烘烤腔； 其中： 所述烘烤腔可拆卸固设在所述中转腔上， 其两侧壁上阵列有若干通孔， 若干通孔上能 架设若干撑板， 两两所述撑板上能架设一烘烤架， 所述烘烤腔的一侧设有密封门板， 所述密 封门板铰接在所述箱体上； 所述氮气进气通道、 空气进气通道和所述排气通道的一开口端均设在所述箱体的侧壁 上， 另一开口端均设在所述中转腔的侧壁上； 所述氮气进气通道、 空气进气通道和排气通道 上均设有控制阀， 每 个所述控制阀均 与所述监控装置电连接； 所述加热装置设在所述烘烤腔的外侧， 包括一个以上发热件， 每个所述发热件均与所 述监控装置电连接； 所述监控装置包括氮气含量检测仪、 时间控制器、 温度控制器、 电源开关和若干开关 件。 2.根据权利要求1所述的一种 多功能真空烤箱， 其特征在于， 所述中转腔内还设有气流 搅动装置， 所述气流搅动装置包括一个以上驱动件， 每个所述驱动件均传动连接一搅拌件， 每个所述搅拌件均能在一所述驱动件的驱动下在所述中转腔内转动或平移， 以加速所述中 转腔内气体的流动。 3.根据权利要求1所述的一种 多功能真空烤箱， 其特征在于， 所述排气通道上设有排气 口和抽气口， 所述排气口设在所述箱体上， 所述抽气口通过管路与一真空泵相接， 所述真空 泵与一所述 开关件电连接 。 4.根据权利要求3所述的一种 多功能真空烤箱， 其特征在于， 所述排气口和所述抽 气口 上均设有一所述控制阀。 5.根据权利要求1所述的一种 多功能真空烤箱， 其特征在于， 每个所述控制阀均为电磁 阀。 6.根据权利要求1 ‑5任一项所述的一种多功能真空烤箱， 其特征在于， 所述箱体的下端 部还设有 若干万向轮。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217876827 U 2一种多功能真空烤箱 技术领域 [0001]本实用新型 涉及芯片制造技 术领域,特别涉及一种多功能真空烤箱。 背景技术 [0002]芯片封装生产过程中， 芯片D/B工艺后， 一般需要把基板连同芯片一起放进烤箱中 烘烤， 以加速固化进程， 使得芯片牢固地粘贴在基板上。 [0003]目前， 为了确保品质， 芯片在烘烤时一般采用氮气烤箱， 使用氮气作为保护气体将 产品与空气隔绝开， 避免或延缓产品在高温状态下被氧化， 但这种烤箱 运行成本较高， 因而 在烘烤其他产品时， 仍然会采用常规的空气烤箱。 因此， 生产企业一般需要配备两种烤箱， 但这两种烤箱的利用率都不高， 且 还造成人力物力和维护成本的增 加。 [0004]综上， 本实用新型对烤箱内部结构进行改进， 使其既能用作氮气烤箱， 又可用作空 气烤箱。 实用新型内容 [0005]针对上述现有技术中存在的问题， 本实用新型提供一种多功能真空烤箱， 烤炉能 进行充氮气烘烤和常规烘烤， 操控便捷， 实现一机两用， 提高烘烤机利用率， 降低设备购置 经济成本和管理成本， 并可确保烘烤后产品 品质保持稳定一 致。 [0006]为解决上述 技术问题,本实用新型采取的一种技 术方案如下: [0007]一种多功能真空烤箱， 包括箱体， 所述箱体上设有监控装置和中转腔， 所述箱体与 所述中转腔之 间设有氮气进气通道、 空气进气通道、 排气通道， 所述中转腔内设有加热装置 和烘烤腔； 其中： [0008]所述烘烤腔可拆卸固设在所述中转腔上， 其两侧壁上 阵列有若干通孔， 若干通孔 上能架设若干撑板， 两两所述撑板上能架设一烘烤架， 所述烘烤腔的一侧设有密封门板， 所 述密封门板铰接在所述箱体上； [0009]所述氮气进气通道、 空气进气通道和所述排气通道的一开口端均设在所述箱体的 侧壁上， 另一开口端均设在所述中装腔的侧壁上； 所述氮气进气通道、 空气进气通道和排气 通道上均设有控制阀， 每 个所述控制阀均 与所述监控装置电连接； [0010]所述加热装置设在所述烘烤腔的外侧， 包括一个以上发热件， 每个所述发热件均 与所述监控装置电连接 。 [0011]所述监控装置包括氮气含量检测仪、 时间控制器、 温度 控制器、 电源开关和若干开 关件。 [0012]作为对上述 技术方案的进一 步阐述： [0013]在上述技术方案中， 所述中转腔内还设有气流搅动装置， 所述气流搅动装置包括 一个以上驱动件， 每个所述驱动件均传动连接一搅拌件， 每个所述搅拌件均能在一所述驱 动件的驱动下在所述中转腔内转动或平 移， 以加速所述中转腔内气体的流动。 [0014]在上述技术方案中， 所述排气通道上设有排气口和抽气口， 所述排气口设在所述说　明　书 1/4 页 3 CN 217876827 U 3