(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202221948847.9 (22)申请日 2022.07.26 (73)专利权人 全椒科利德电子材 料有限公司 地址 230000 安徽省滁州市全椒 县十字镇 十谭产业园朝阳路18号 (72)发明人 赵毅　金龙　金少福　 (74)专利代理 机构 大连优路智权专利代理事务 所(普通合伙) 21249 专利代理师 姚萍 (51)Int.Cl. F26B 11/14(2006.01) F26B 25/00(2006.01) F26B 25/02(2006.01) F26B 25/04(2006.01) F26B 5/16(2006.01)F16F 15/067(2006.01) (54)实用新型名称 一种制备高纯氧硫化 碳的干燥装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种制备高纯氧硫化碳 的干燥装置， 包括干燥器， 干燥器竖直端一侧设 有进气口， 所述干燥器底部通过固定板设有抽气 泵， 所述抽气泵竖直端一侧设有出气 口， 所述干 燥器内部设有转动机构。 本实用新型中， 通过在 干燥装置 上设有转动机构， 增大吸湿层与 气体的 接触面积， 提高气体的干燥效率， 使用时， 启动驱 动电机， 带动中心转杆转动， 中心转杆带动主动 齿轮转动， 主动齿轮带动中心 螺纹杆转动， 同时， 主动齿轮带动两侧的从动齿轮转动， 从动齿轮同 时在齿环中进行自转， 从而带动侧边螺纹杆转 动， 进而带动整体的吸湿层转动， 进而提高了现 有的干燥装置的使用效果。 权利要求书1页 说明书3页 附图3页 CN 218034170 U 2022.12.13 CN 218034170 U 1.一种制备高纯氧硫化碳的干燥装置， 包括干燥器(1)， 其特征在于， 干燥器(1)竖直端 一侧设有进气口(2)， 所述干燥器(1)底部通过固定板(8)设有抽气泵(9)， 所述抽气泵(9)竖 直端一侧设有出气口(10)， 所述干燥器(1)内部设有转动机构； 所述转动机构包括有驱动电机(5)， 所述驱动电机(5)输出端传动连接有中心转杆 (16)， 所述中心转杆(16)底部固定连接有 中心螺纹杆(15)， 所述中心转杆(16)外表壁固定 连接有主动齿轮(6)， 所述主动齿轮(6)外表壁啮合连接有从动齿轮(4)， 所述从动齿轮(4) 外表壁啮合连接有齿环(11),所述齿环(11)顶部通过短杆与干燥器(1)内表 壁固定连接， 所 述齿环(11)底部设有齿轮稳定机构， 所述 从动齿轮(4)底部固定连接有侧边螺纹杆(14)， 所 述侧边螺纹杆(14)与中心螺纹杆(15)外表壁均旋合连接有吸湿层(3)， 且侧边螺纹杆(14) 外表壁通过螺栓(7)与吸湿层(3)内表壁固定连接， 所述中心螺纹杆(15)外表壁与 吸湿层 (3)之间设有卡 合机构。 2.根据权利要求1所述的一种制备高纯氧硫化碳的干燥装置， 其特征在于， 所述齿轮稳 定机构包括有卡合环(12)与圆盘(13)， 所述卡合环(12)顶部与齿环(11)底部固定连接， 所 述圆盘(13)外表 壁通过轴承与中心转杆(16)外表 壁活动连接， 所述卡合环(12)与圆盘(13) 之间形成圆形槽， 所述中心螺纹杆(15)与侧边螺纹杆(14)均卡合于圆形槽内部， 所述齿轮 稳定机构与卡 合机构之间设有限位配合部 。 3.根据权利要求2所述的一种制备高纯氧硫化碳的干燥装置， 其特征在于， 所述卡合机 构包括有拉杆(19)与插孔， 所述插孔设于中心螺纹杆(15)外表壁， 所述拉杆(19)竖直端一 侧固定连接有插块(21)， 且所述插块(21)外表壁与插孔内表壁插接， 所述拉杆(19)外部套 设有弹簧(20)， 所述拉杆(19)与弹簧(20)外 部设有外壳(2 2)。 4.根据权利要求3所述的一种制备高纯氧硫化碳的干燥装置， 其特征在于， 所述限位配 合部包括有凸块(18)与卡合槽(17)， 所述凸块(18)设于外壳(22)顶部， 所述卡合槽(17)设 于圆盘(13)底部， 且所述凸块(18)外表壁与卡 合槽(17)内表壁 转动连接 。 5.根据权利要求4所述的一种制备高纯氧硫化碳的干燥装置， 其特征在于， 所述凸块 (18)顶部呈半球型 结构。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218034170 U 2一种制备高纯 氧硫化碳的干燥装置 技术领域 [0001]本实用新型涉及气体干燥制备技术领域， 尤其涉及一种制备高纯氧硫化碳的干燥 装置。 背景技术 [0002]氧硫化碳别名羰基硫， 是一种广泛应用于医药、 农药和其它化工产品生产的气体， 一直以来被用作为粮食的熏蒸剂， 有毒性适中， 易于降解等特点， 同时它也是合成硫代氨基 甲酸酯类农药和杀虫剂的重要原料。 近年来高纯度氧硫化碳已经被用在集成电路刻蚀工艺 中， 并且发展趋势迅猛。 目前， 除去氧硫化碳中水分的方法有多种， 主要有低 温冷冻法和干 燥吸附法。 低温冷冻法是在低温条件下， 将氧硫化碳中大量饱和的水分除去。 干燥吸附法是 氧硫化碳以一定的流速通过特定的干燥吸 附剂， 达到除去氧硫化碳中痕量水分的目的。 现 有的氧硫化碳干燥装置结构复杂， 操作难度大， 且在使用过程中， 对氧硫化碳气 体干燥的效 率不高。 [0003]目前， 现有的一种制 备高纯氧硫化碳的干燥装置仍存在不足之处， 现有的干燥装 置在使用过程中吸附剂位置固定， 吸附剂吸湿不完全， 使得吸湿效果差， 并且吸湿层不易更 换， 降低了现有的干燥装置的使用效果。 实用新型内容 [0004]本实用新型的目的在于： 为了解决上述问题， 而提出的一种制 备高纯氧硫化碳的 干燥装置 。 [0005]为了实现上述目的， 本实用新型采用了如下技 术方案： [0006]一种制备高纯氧硫化碳的干燥装置， 包括干燥器， 干燥器竖直端一侧设有进气口， 所述干燥器底部通过固定板设有抽气泵， 所述抽气泵竖直端一侧设有出气口， 所述干燥器 内部设有转动机构； [0007]所述转动机构包括有驱动电机， 所述驱动电机输出端传动连接有中心转杆， 所述 中心转杆底部固定连接有中心螺纹杆， 所述中心转杆外表壁固定连接有主动齿轮， 所述主 动齿轮外表壁啮合连接有从动齿轮， 所述从动齿轮外表壁啮合连接有齿环,所述齿环顶部 通过短杆与干燥器内表壁固定连接， 所述齿环底部设有齿轮稳定机构， 所述从动齿轮底部 固定连接有侧 边螺纹杆， 所述侧 边螺纹杆与中心螺纹杆外表壁均旋合连接有吸湿层， 且侧 边螺纹杆外表壁通过螺栓与吸湿层内表壁固定连接， 所述中心螺纹杆外表壁与吸湿层之间 设有卡合机构。 [0008]优选地， 所述齿轮稳定机构包括有卡合环与圆盘， 所述卡合环顶部与齿环底部固 定连接， 所述圆盘外表壁通过轴承与中心转杆外表壁活动连接， 所述卡合环与圆盘之间形 成圆形槽， 所述中心螺纹杆与侧 边螺纹杆均卡合于圆形槽内部， 所述齿轮稳定机构与卡合 机构之间设有限位配合部 。 [0009]优选地， 所述卡合机构包括有拉杆与 插孔， 所述插孔设于中心螺纹杆外表壁， 所述说　明　书 1/3 页 3 CN 218034170 U 3