(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202222451570.5 (22)申请日 2022.09.16 (73)专利权人 九未实业 （上海） 有限公司 地址 201799 上海市青浦区拓 青路405号 10D (72)发明人 汪宇澄　汪雨　陈尚加　罗滔　 汪小龙　 (51)Int.Cl. F26B 21/00(2006.01) F26B 21/14(2006.01) B08B 3/02(2006.01) B08B 5/02(2006.01) B08B 13/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种IPA干燥设备 (57)摘要 本实用新型公开了一种IPA干燥设备， 包括 箱体， 所述箱体的前端通过铰链铰接有箱门， 所 述箱体的左端下部和右端下部均安装有底板， 两 个所述底板的上端分别安装有喷气部件和输气 装置， 右侧所述底板的上端前部安装有控制器， 所述箱体的上端安装有电动缸， 所述电动缸的输 送端延伸至箱 体内并连接有空心块， 所述空心块 的下端穿插连接有喷头。 本实用新型所述的一种 IPA干燥设备， 通过设置电动缸、 矩形框和电机共 同配合能够带动晶元硅片转动， 使IPA蒸汽和氮 气能够无死角地喷洒在晶元硅片的表面将杂质 冲刷下去， 提高了清洗的效果， 通过设置固定部 件和一号弧形板共同配合能够快速对晶元硅片 进行固定， 同时可避免压力过大对晶元硅片造成 损害。 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 CN 218097129 U 2022.12.20 CN 218097129 U 1.一种IPA干燥设备， 包括箱体(2)， 其特征在于： 所述箱体(2)的前端通过铰链铰接有 箱门(1)， 所述箱体(2)的左端下部和右端下部均安装有底板(4)， 两个所述底板(4)的上端 分别安装有喷气部件(7)和输气装置(6)， 右侧所述底板(4)的上端前部安装有控制器(5)， 所述箱体(2)的上端安装有电动缸(3)， 所述电动缸(3)的输送端延伸至箱体(2)内并连接有 空心块(9)， 所述空心块(9)的下端穿插连接有喷头(10)， 所述箱体(2)的右端安装有电机 (8)， 所述电机(8)的输出端延伸至箱体(2)内并连接有矩形框(12)， 所述矩形框(12)的后内 壁安装有若干个呈线性阵列分布的一号弧形板(13)， 所述矩形框(12)的前端设置有若干个 呈线性阵列分布的固定 部件(11)。 2.根据权利要求1所述的一种IPA干燥设备， 其特征在于： 所述固定部件(11)包括螺杆 (111)， 所述螺杆(111)设置在矩形框(12)的前端， 所述螺杆(111)的前端螺纹穿插至矩形框 (12)内并活动连接有压力传感器(112)， 所述压力传感器(112)的前端设置有二号弧形板 (114)， 所述二号弧形板(114)的外表面设置有两个导杆(113)， 所述导杆(113)活动穿插至 矩形框(12)的前侧。 3.根据权利 要求2所述的一种IPA干燥设备， 其特征在于： 所述喷气部件(7)包括氮气罐 (71)， 所述氮气罐(71)设置在左侧底板(4)的上端， 所述氮气罐(71)的排气端连接有排气管 (76)， 所述排气管(76)上设置有电动阀(72)和调压阀(73)， 所述排气管(76)的上端连接有 一号软管(74)， 所述一号软管(74)远离排气管(76)的一端延伸至箱体(2)内并连接有一号 单向阀(75)， 所述 一号单向阀(75)设置在空心块(9)的上端。 4.根据权利要求3所述的一种IPA干燥设备， 其特征在于： 所述输气装置(6)包括泵体 (63)和IPA溶液箱(61)， 所述泵体(63)和IPA溶液箱(61)均设置在右侧底板(4)的上端， 所述 泵体(63)的吸气端延伸至IPA溶液箱(61)内， 所述IPA溶液箱(61)的前端设置有加热管 (62)， 所述加热管(62)延伸至IPA溶液箱(61)内， 所述泵体(63)的排气端连接有二号软管 (64)， 所述二号软管(64)远离泵体(63)的一端延伸至箱 体(2)内并连接有二号单向阀(65)， 所述二号单向阀(6 5)设置在空心块(9)的上端。 5.根据权利 要求4所述的一种IPA干燥设备， 其特征在于： 所述矩形框(12)的前端下部、 后端下部和下内壁均开设有通孔， 所述箱体(2)的下内壁开设有排液孔， 所述空心块(9)的 左端和右端分别与箱体(2)的左内壁和右内壁活动连接， 所述矩形框(12)的左端与 箱体(2) 的左内壁相连接 。 6.根据权利要求5所述的一种IPA干燥设备， 其特征在于： 所述电动缸(3)、 电机(8)、 压 力传感器(1 12)、 电动阀(72)、 加热 管(62)和泵体(6 3)均与控制器(5)电性连接 。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 218097129 U 2一种IPA干 燥设备 技术领域 [0001]本实用新型 涉及干燥设备技 术领域， 特别涉及一种IPA干燥设备。 背景技术 [0002]光硅片是集成电路产业最重要的基础材料， 电路被加工在抛光硅片的表面。 随着 集成电路的特征线宽越来越小， 抛光硅片的抛光表面 允许残留的颗粒的数量和直径越来越 小， 抛光硅片在抛光后一般经过一次清洗和最终清洗等两次清洗来使表面颗粒和表面金属 指标达到用户的要求。 [0003]现有技术(申请号： 202020370009.2)公开了一种 IPA干燥设备， 具体涉及IPA干燥 技术领域， 所述内机体顶部还设置氮气填充装置， 所述干燥机构包括固定于内机体内壁上 的放置槽板、 安装于放置槽板内的多个均匀设置的隔离板和连接于放置槽板中心处下方的 连接管， 所述放置槽板外壁与内机体内壁相吻合， 所述放置槽板中部下陷设置， 多个所述隔 离板的底部开设有引流孔， 所述连接管内部 向下延伸有回收管； 所述内机体外部设置有外 机体， 所述外 机体顶端 套设于内机体的顶部 。 [0004]上述专利虽然能够对清洗过程产生的污液可进行回收， 减少清洗残留对下一轮清 洗干燥造成影响， 但是存在以下弊端， 晶圆硅片有些位置离喷头较远， 会存在死角， 而晶圆 硅片固定后无法移动， 导致清洗的溶液无法喷洒到晶圆硅片表面将杂质冲刷下去， 影响清 洁干燥效果， 需要进一步的改进， 为此 我们提出一种IPA干燥设备， 以解决存在无法全面清 洁干燥的问题。 实用新型内容 [0005]本实用新型的主要目的在于提供一种IPA干燥设备， 可以有效解决背景技术中的 问题。 [0006]为实现上述目的， 本实用新型采取的技 术方案为： [0007]一种IPA干燥设备， 包括箱体， 所述箱体的前端通过铰链铰接有箱门， 所述箱体 的 左端下部和右端下部均安装有底板， 两个所述底板的上端分别安装有喷气部件和输气装 置， 右侧所述底板的上端 前部安装有控制器， 所述箱体的上端安装有电动缸， 所述电动缸的 输送端延伸至箱体内并连接有空心块， 所述空心块的下端穿插连接有喷头， 所述箱体的右 端安装有电机， 所述电机的输出端延伸至箱体内并连接有矩形框， 所述矩形框的后内壁安 装有若干个呈线性阵列分布的一号弧形板， 所述矩形框的前端设置有若干个呈线性阵列分 布的固定 部件。 [0008]优选的， 所述固定部件包括螺杆， 所述螺杆设置在矩形框的前端， 所述螺杆的前端 螺纹穿插至矩形框内并活动连接有压力传感器， 所述压力传感器的前端设置有二号弧形 板， 所述二号弧形板的外表面设置有两个导杆， 所述 导杆活动穿插至矩形框的前侧。 [0009]优选的， 所述喷气部件包括氮气罐， 所述氮气罐设置在左侧底板的上端， 所述氮气 罐的排气端连接有排气管， 所述排气管上设置有电动阀和调压阀， 所述排气管 的上端连接说　明　书 1/4 页 3 CN 218097129 U 3