(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123357576.8 (22)申请日 2021.12.2 9 (73)专利权人 山东晶导微电子股份有限公司 地址 273100 山东省济宁市曲阜市春秋东 路166号 (72)发明人 孟恒　刘君　孔鲁　 (74)专利代理 机构 济宁汇景知识产权代理事务 所(普通合伙) 37254 专利代理师 苟莎 (51)Int.Cl. G01R 1/04(2006.01) G01R 1/067(2006.01) B25B 11/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种手动探 针测试工作台 (57)摘要 本申请公开一种手动探针测试工作台， 包括 载台底座、 XY轴移动平台、 Z轴移动平台和测试装 置； 所述XY轴移动平台以能够在水平方向移动的 方式被设置于所述载台底座， 且所述XY轴移动平 台的顶面设置有绝缘座， 所述绝缘座的顶部设置 有铜板； 所述Z轴移动平台以能够在竖直方向移 动的方式被设置于所述载台底座， 并位于所述XY 轴移动平台的正上方， 所述Z轴移动平台于水平 方向设置有正对 所述铜板的环形槽； 所述测试装 置包括显像元件和探边元件， 其中所述显像元件 以在所述Z轴移动平台的上方正对 所述铜板的方 式固定设置于所述载台底座， 所述探边元件被固 定设置于所述环形槽的侧壁。 本申请能够快速、 稳定、 准确的测试半导体元件， 尤其是小颗粒晶 体。 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 CN 216646581 U 2022.05.31 CN 216646581 U 1.一种手动探针测试工作台， 其特 征在于， 包括： 载台底座； XY轴移动平台， 其中所述XY轴移动平台以能够在水平方向移动的方式被设置于所述载 台底座， 且所述XY轴移动平台的顶面设置有绝缘座， 所述绝缘座的顶部 设置有铜板， 以通过 所述铜板盛放待测物； Z轴移动平台， 其中所述Z轴移动平台以能够在竖直方向移动的方式被设置于所述载台 底座， 并位于所述XY轴移动平台的正上方， 所述Z轴移动平台于水平方向设置有正对所述铜 板的环形槽； 和 测试装置， 其中所述测试装置包括显像元件和探边元件， 其中所述显像元件以在所述Z 轴移动平台的上方正对所述铜板的方式固定设置于所述载台底座， 所述探边元件被固定设 置于所述环形槽的侧壁。 2.如权利要求1所述手动探针测试工作台， 其特征在于， 还包括X轴调节装置， 所述X轴 移动装置包括第一移动板以及沿X轴 方向延伸的第一丝杆和第一导向柱， 其中所述第一导 向柱被固定 设置于所述第一移动板的底部， 所述第一丝杆被可定向旋转地设置于所述第一 移动板的底部， 且所述第一移动板设置有与所述第一丝杆相 配合的第一丝杆座， 所述载台 底座设置有与所述第一 导向柱相配合的第一限位 块。 3.如权利要求2所述手动探针测试工作台， 其特征在于， 所述X轴调节装置还包括第一 微调旋钮和第一粗调旋钮， 其中所述第一微调旋钮被设置于所述第一丝杆的任意一端， 所 述第一粗调旋钮固定套设于所述第一微调旋钮， 且所述第一微调旋钮于端部凸出所述第一 粗调旋钮。 4.如权利要求2或3所述手动探针测试工作台， 其特征在于， 还包括Y轴调 节装置， 所述Y 轴移动装置包括第二移动板以及沿Y轴方向延伸的第二丝杆和第二导向柱， 其中所述第二 导向柱被固定 设置于所述第二移动板的底部， 所述第二丝杆被可定向旋转地设置于所述第 二移动板的底部， 且所述第二移动板设置有与所述第二丝杆相配合的第二丝杆座， 所述第 一移动板设置有与所述第二 导向柱相配合的第二限位 块。 5.如权利要求4所述手动探针测试工作台， 其特征在于， 所述Y轴调节装置还包括第二 微调旋钮和第二粗调旋钮， 其中所述第二微调旋钮被设置于所述第二丝杆的任意一端， 所 述第二粗调旋钮固定套设于所述第二微调旋钮， 且所述第二微调旋钮于端部凸出所述第二 粗调旋钮。 6.如权利要求4所述手动探针测试工作台， 其特征在于， 还包括Z轴调节装置， 所述Z轴 调节装置包括Z轴支撑柱、 调节 把手、 升降凸轮和连接件， 其中所述Z轴支撑柱被固定 设置于 所述载台底座， 所述升降凸轮被可旋转地设置于所述Z轴支撑柱内， 所述调节 把手被设置于 所述升降凸轮的轮轴的外侧端， 所述连接件的一端通过辅助轮转动连接所述升降凸轮， 并 在另一端固定连接所述Z轴移动平台。 7.如权利要求6所述手动探针测试工作台， 其特征在于， 所述载台底座沿竖直方向还设 置有第三 导向柱， 所述Z轴移动平台与所述第三 导向柱相配合， 套设于所述第三 导向柱。 8.如权利要求7所述手动探针测试工作台， 其特征在于， 所述显像元件被实施为CCD相 机， 所述显像元件通过C CD调焦支 架安装于所述第三 导向柱。 9.如权利要求8所述手动探针测试工作台， 其特征在于， 所述第 三导向柱上还安装有显权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 216646581 U 2示屏， 其中所述显示屏位于所述C CD调焦支 架的上方。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 216646581 U 3