(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告 号 (45)授权公告日 (21)申请 号 202123387141.8 (22)申请日 2021.12.3 0 (73)专利权人 苏州子山半导体科技有限公司 地址 215000 江苏省苏州市工业园区方泾 路10号裕大盛博科技园B栋 301室 (72)发明人 韩立民　 (74)专利代理 机构 苏州国卓知识产权代理有限 公司 323 31 专利代理师 夏祖祥 (51)Int.Cl. B25B 11/00(2006.01) (54)实用新型名称 一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸 盘装夹装置 (57)摘要 本实用新型公开了一种等离子体电荷过滤 装置加工用真空吸盘装夹装置， 包括装置主体， 所述装置主体的两侧开设有侧边夹持槽， 所述装 置主体的外侧固定连接有气管接头， 所述装置主 体的内侧固定连接有吸盘安装框架， 所述吸盘安 装框架的内侧开设有安装槽， 所述安装槽的内侧 开设有两处卡槽， 所述安装槽的两侧开设有导气 接孔。 本实用新型所述的一种等离子体电荷过滤 装置加工用真空吸盘装夹装置， 通过采用真空吸 盘治具加工薄板类零件， 可有效提升产品质量稳 定性， 降低加工成本， 可易于装夹， 易于拆卸， 减 小操作人员重复装夹的难度， 对吸附的工件在吊 运过程中进行有效保护， 避免工件外观损坏产生 不良品。 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 CN 217493967 U 2022.09.27 CN 217493967 U 1.一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置， 包括装置主体(1)， 其特征在 于： 所述装置主体(1)的两侧开设有侧边夹持槽(5)， 所述装置主体(1)的外侧固定连接有气 管接头(6)， 所述装置主体(1)的内侧固定连接有吸盘安装框架(7)， 所述吸盘安装框架(7) 的内侧开设有安装槽(4)， 所述 安装槽(4)的内侧开设有两处卡槽(3)。 2.根据权利要求1所述的一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置， 其特 征在于： 所述安装槽(4)的两侧开设有导气 接孔(8)， 所述安装槽(4)的内侧固定卡接有真空 吸盘主板(2)， 所述吸盘安装框架(7)的外侧固定连接有四处连接管(9)， 所述真空吸盘主板 (2)的两侧固定连接有卡 块(13)。 3.根据权利要求2所述的一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置， 其特 征在于： 所述真空吸盘主板(2)的内部开设有气孔(14)， 所述真空吸盘主板(2)的上端固定 连接有接触板(12)， 所述接触板(12)的内侧固定连接有可定制柔性吸板(10)， 所述可定制 柔性吸板(10)的四周开设有密封 槽(11)。 4.根据权利要求1所述的一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置， 其特 征在于： 所述装置主体(1)与侧边夹持槽(5)的之间通过切削的方式一体成型， 所述装置主 体(1)与气管接头(6)的之间设置有安装腔， 所述装置主体(1)的一侧通过安装腔与气管接 头(6)的内侧固定连接 。 5.根据权利要求1所述的一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置， 其特 征在于： 所述吸盘安装框架(7)与卡槽(3)、 导气接孔(8)、 安装槽(4)的之间通过浇铸的方式 一体成型， 所述装置主体(1)与吸盘安装框架(7)的之间通过焊接的方式 固定连接 。 6.根据权利要求3所述的一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置， 其特 征在于： 所述真空吸盘主板(2)与接触板(12)、 卡块(13)、 气孔(14)的之间通过注塑的方式 一体成型， 所述接触板(12)的上端固定连接有可定制柔性 吸板(10)， 所述可定制柔性 吸板 (10)可根据工件形状尺寸专制设计。权　利　要　求　书 1/1 页 2 CN 217493967 U 2一种等离 子体电荷过滤装 置加工用真空吸盘装夹装 置 技术领域 [0001]本实用新型涉及装夹装置领域， 特别涉及 一种等离子体电荷过滤装置加工用真空 吸盘装夹装置 。 背景技术 [0002]等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置是一种通过真空吸盘装夹的装 置， 在进行薄板类工件装夹时需要使用吸盘类装夹装置， 传统的装夹装置对工件损坏 较大， 随着科技的不断发展， 人们对于等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘装夹装置的制造工 艺要求也越来越高。 [0003]现有技术中， 授权公告号为CN201520630114.4的专利公开了一种托盘 厚度加工真 空吸盘装夹装置， 通过真空吸盘上板、 真空吸盘底板、 接头螺丝、 锁紧螺丝、 气管及真空发生 器的配合使用克服了操作不方便的缺点， 实现了装夹半自动化， 便于操作、 减少装夹时间、 提高了加工精度， 真空吸盘上板上的通孔为若干个， 相 邻通孔之间间距相等， 通孔的直径 为 1‑5mm， 将真空吸力均匀分散于各个通孔， 使得放置的托盘底部能够均匀收到吸力作用， 托 盘与真空吸盘上板连接更为紧密， 真空吸盘底板上凹槽边缘设有矩形框状镶嵌槽， 镶嵌槽 内部配合设置有横截面为圆形 的密封圈， 避免在抽真空过程中由于真空吸盘上板、 真空吸 盘底板存在的空隙导致真空泄露， 现有的加工装夹方案为螺栓锁紧零件或压板压紧零件等 方式进行装夹， 其产品在加工过程中极易变形、 弯曲， 造成返修、 报废等不良， 给人们的使用 过程带来了一定的不利影响， 为此， 我们提出一种等离子体电荷过滤装置加工用真空吸盘 装夹装置 。 实用新型内容 [0004](一)解决的技 术问题 [0005]针对现有技术的不足， 本实用新型提供了一种等离子体电荷过滤装置加工用真空 吸盘装夹装置， 通过采用真空吸盘治 具加工薄板类零件， 可有效提升产品质量稳定性， 降低 加工成本， 可易于装夹， 易于拆卸， 减小操作人员重复装夹的难度， 对吸附的工件在吊运过 程中进行有效保护， 避免工件外观损坏产生 不良品， 可以有效解决背景技 术中的问题。 [0006](二)技术方案 [0007]为实现上述目的， 本实用新型采取的技术方案为： 一种等离子体电荷过滤装置加 工用真空吸盘装夹装置， 包括装置主体， 所述装置主体的两侧开设有侧边夹持槽， 所述装置 主体的外侧固定连接有气管接头， 所述装置主体的内侧固定连接有吸盘安装框架， 所述吸 盘安装框架的内侧开设有安装槽， 所述 安装槽的内侧开设有两处卡槽 。 [0008]优选的， 所述安装槽 的两侧开设有导气接孔， 所述安装槽 的内侧固定卡接有真空 吸盘主板， 所述吸盘安装框架的外侧固定连接有四处连接管， 所述真空吸盘主板的两侧固 定连接有卡 块。 [0009]优选的， 所述真空吸盘主板 的内部开设有气孔， 所述真空吸盘主板 的上端固定连说　明　书 1/4 页 3 CN 217493967 U 3