(19)国家知识产权局 (12)发明 专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请 号 202210874479.6 (22)申请日 2022.07.22 (71)申请人 南京正在迭代科技有限公司 地址 210031 江苏省南京市江北新区天圣 路75号国际企业研发园6-B栋9层934 室 (72)发明人 熊强　 (74)专利代理 机构 北京知果之信知识产权代理 有限公司 1 1541 专利代理师 苏利 (51)Int.Cl. B23K 26/362(2014.01) B23K 26/70(2014.01) G02B 26/10(2006.01) (54)发明名称 基于振镜的激光雕刻机焦点调节方法及激 光雕刻机 (57)摘要 本申请公开了一种基于振镜的激光雕刻机 焦点调节方法及激光雕刻机， 该基于振镜的激光 雕刻机焦点调节方法包括如下步骤： 在第一预设 条件下， 获取振镜模组在焦平 面上形成的图形的 第一长度信息； 在第一预设条件下， 获取振镜模 组在待雕刻平面上形成的图形的第二长度信息； 基于所述第二长度信息调整待雕刻平面与振镜 模组之间的间距， 使第二长度信息等于第一长度 信息； 所述第一预设条件为： 振镜模组的出射方 向从第一起始点旋转至第一终点。 本申请解决了 相关技术中人工将雕刻平台调整至激光焦平面 的操作较为麻烦， 且调整的精度也较低的问题。 权利要求书2页 说明书8页 附图1页 CN 115156724 A 2022.10.11 CN 115156724 A 1.一种基于振镜的激光雕刻机焦点调节方法， 其特 征在于， 包括如下步骤： 在第一预设条件下， 获取振镜模组在 焦平面上 形成的图形的第一长度信息； 在第一预设条件下， 获取振镜模组在待雕刻平面上 形成的图形的第二长度信息； 基于所述第 二长度信 息调整待雕刻平面与振镜模组之间的间距， 使第 二长度信 息等于 第一长度信息； 所述第一预设条件为： 振镜模组的出射方向从第一 起始点旋转至第一终点。 2.根据权利要求1所述的基于振镜的激光雕刻机焦点调节方法， 其特征在于， 所述基于 所述第二长度信息调整待雕刻平面与振镜模组之间的间距， 使第二长度信息等于第一长度 信息， 具体为： 获取第一长度信息与所述第二长度信息之间的长度差， 当长度差为正值时， 控制待雕 刻平面远离振镜模组移动； 当长度差为负值时， 控制待雕刻平面朝向振镜模组移动。 3.根据权利要求2所述的基于振镜的激光雕刻机焦点调节方法， 其特征在于， 在第 一预 设条件下， 获取振镜模组在 焦平面上 形成的图形的第一长度信息， 具体为： 由摄像头单元获取振镜模组以第一预设条件运动时在 焦平面上 形成的所有光斑图像； 基于所有光斑图像形成光斑图形， 根据光斑图形中的像素 数量确定第一长度信息； 或， 基于振镜模组的设计结构确定焦平面的位置； 根据焦平面与振镜模组之间的间距、 第一起始点与振镜模组的法线的夹角、 第一终点 与振镜模组的法线的夹角， 利用三角函数确定第一长度信息 。 4.根据权利要求3所述的基于振镜的激光雕刻机焦点调节方法， 其特征在于， 在第 一预 设条件下， 获取振镜模组在待雕刻平面上 形成的图形的第二长度信息， 具体为： 由摄像头单元获取振镜模组以第一预设条件运动时在待雕刻平面上形成的所有光斑 图像； 基于所有光斑图像形成光斑图形， 根据光斑图形中的像素 数量确定第二长度信息 。 5.根据权利要求4所述的基于振镜的激光雕刻机焦点调节方法， 其特征在于， 所述振镜 模组在第一预设条件下的移动时间为T， 所述摄 像头单元的曝光时间大于T。 6.根据权利要求5所述的基于振镜的激光雕刻机焦点调节方法， 其特征在于， 所述振镜 模组出射的激光功率 为摄像头单元可识别到的最低功率。 7.根据权利要求1至6任一项所述的基于振镜的激光雕刻机焦点调节方法， 其特征在 于， 所述振镜模组的出射方向从第一起始点旋转至第一 终点的旋转角度为振镜模组的最大 旋转角度； 所述第一 起始点和所述第一终点沿所述振镜模组的法线对称。 8.根据权利要求7所述的基于振镜的激光雕刻机焦点调节方法， 其特征在于， 所述待雕 刻平面的移动距离的计算方式为： Δh＝(|LE0F0‑LEF|)/(2*tanβ )； Δh为待雕刻平面的移动距离； LE0F0为第二长度信息； LEF为第二长度信息； β 为第一起始点与振镜模组的法线的夹角， 或第一终点与振镜模组的法线的夹角；权　利　要　求　书 1/2 页 2 CN 115156724 A 2当LE0F0‑LEF为正值时， 控制待雕刻平面远离振镜模组移动； 当LE0F0‑LEF为负值时， 控制待雕刻平面朝向振镜模组移动。 9.根据权利要求8所述的基于振镜的激光雕刻机焦点调节方法， 其特征在于， 控制待雕 刻平面以移动距离 Δh和移动方向移动； 在第一预设条件下， 获取振镜模组在待雕刻平面上 形成的图形的第三长度信息； 基于所述第 三长度信 息调整待雕刻平面与振镜模组之间的间距， 使第 三长度信 息等于 第一长度信息 。 10.一种基于振镜的激光雕刻机， 包括激光发生器、 振镜模组、 振镜模组旋转机构， 其特 征在于， 还 包括： 摄像头单元、 雕刻托盘直线驱动机构、 控制器； 其中， 所述摄像头单元贴近所述振镜模组的出射端布置； 待雕刻平面设于雕刻托盘上， 所述雕刻托盘直线驱动机构用于驱动雕刻托盘朝向或背 离所述振镜模组直线移动； 所述控制器被配置成控制振镜模组旋转机构动作， 以驱动振镜模组以第 一预设条件动 作， 所述第一预设条件为振镜模组的出射方向从第一 起始点旋转至第一终点； 所述摄像头单元被配置成在第一预设条件下， 获取振镜模组在焦平面上形成的图形， 以及在第一预设条件下， 获取振镜模组在待雕刻平面上 形成的图形； 所述控制器被配置成可基于振镜模组在焦平面上形成的图形确定第 一长度信 息， 以及 可基于振镜模组在待雕刻平面上形成的图形确定第二长度信息， 并基于所述第二长度信息 控制雕刻托盘直线驱动机构， 以调整待雕刻平面与振镜模组之间的间距， 使第二长度信息 等于第一长度信息 。权　利　要　求　书 2/2 页 3 CN 115156724 A 3